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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이케이테크놀로지 |
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연구책임자 | 한전건 |
참여연구자 | 최인식 , 신경식 , 진수봉 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201800013046 |
과제고유번호 | 1425060885 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 유∙무기물.습식세정.플라즈마.초음파세정기.USC. |
□ 개발목표
- 계획 : LCD 및 광학 필름 표면의 유∙무기오염물을 동시에 처리하기 위하여 50m/sec의 풍속의 USC와 적정량의 플라즈마를 방출할 수 있는 소형화된 일체화 건식 세정기의 연구 개발
- 실적 : 플라즈마 애싱을 이용한 광학필름용 Roll-to-Roll 건식초음파 세정기 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 제진(집진율)파티클 사이즈 0.3 um 이상
- 계획 : 98 %
- 실적 : Film 위의 이물질을 플라즈마를 적용한 세정기를 통해 효과적으로 제거하고 제거된
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