초록 ▼

연구의 목적 및 내용
다수의 유기 나노 소자 분석 및 공정장비들을 초고진공 상태에서 일체형으로 통합한 차세대 융복합 in-situ 나노분석 시스템을 설계, 개발 하며, 기능성 유무기 물질의 물성분석 및 나노전자재료의 기초물성 평가시스템을 구축

연구개발성과
- 최첨단 분석기기 설치 및 각 분석기기의 연동을 통한 종합 물성분석 시스템 구축 완료
- 초고진공 샘플 이동 시스템 및 박막 공정 장치와 분석 장치의 연동 시스템 구축 완료
* 분석장비(7) : UHV-STM, Micro-XPS/UPS, NAP-

연구의 목적 및 내용
다수의 유기 나노 소자 분석 및 공정장비들을 초고진공 상태에서 일체형으로 통합한 차세대 융복합 in-situ 나노분석 시스템을 설계, 개발 하며, 기능성 유무기 물질의 물성분석 및 나노전자재료의 기초물성 평가시스템을 구축

연구개발성과
- 최첨단 분석기기 설치 및 각 분석기기의 연동을 통한 종합 물성분석 시스템 구축 완료
- 초고진공 샘플 이동 시스템 및 박막 공정 장치와 분석 장치의 연동 시스템 구축 완료
* 분석장비(7) : UHV-STM, Micro-XPS/UPS, NAP-XPS,LEEM/PEEM, ARPES, Raman, Probe station
* 공정장비(7) : RF/DC ion sputtering, PE-ALD, CVD, LTS Thermal evaporator, PLD, Pattern generator
- SCI 논문 114편 출간 완료
- 특허 (국내 14건, 국외 7건) 출원 및 등록 (국내11건, 국외 1건)
- 기술이전 (1.3억, ㈜셈텍)
- 2016년 국가연구개발 우수성과 100선 선정(순수기초인프라분야)

연구개발성과의 활용계획(기대효과)
- 샘플을 외부환경과 차단된 초진공 상태에서 분석 장비 간 이동을 통해 측정하고 공정과 융합시켜 원천기술 확보 및 개발기간 단축
- 연 생산액 30조원의 고부가가치를 가진 전자소자 산업계의 생산단가 절약,차세대 소자개발 가속화 및 국제경쟁력 강화
- 국내에서 개발된 유기 나노 소자의 해외 시험·분석 의뢰에 의한 첨단 기술 및 정보의 유출 방지로 미래시장 선도 및 우위 선점

( 출처 : 요약문 3p )

Abstract ▼

The purpose of this proposal is to provide the total analytical solution both academic and industry by means of establishing the one-line in situ analytical system consists of high-ends of leading analysis instruments and device fabrication process. Combination of the process and the analysis should

The purpose of this proposal is to provide the total analytical solution both academic and industry by means of establishing the one-line in situ analytical system consists of high-ends of leading analysis instruments and device fabrication process. Combination of the process and the analysis should provide the essential information on basic science lying under the cutting edge of modern electronic devices as well as future nano-electonics and material science. In particular, the physical properties of nano-material are still yet to be fully understood, however, the accurate measurements for the nano-material have not been established. Many other competitive research groups in USA, Japan and Europe are eager to built their own analytical system for nano-analysis for the moment. The next generation of electronic device is highly competitive in the global competition. The basic properties of next generation device should be carefully analyzed without being exposed to ambient surrounding since the physical and chemical properties of new material or interface states are easily and drastically changed by ambient condition. With the combination of the fabrication process and precise analysis instruments, it is expected to set the facilities supporting the nanotechnology industry and other research groups. This system will give strong support nanotechnology and other complex science with qualified data and information on basic knowledge on the new-forthcoming materials for the future.

( 출처 : SUMMARY 4p )

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 문 ... 3
• SUMMARY ... 4
• 목차 ... 5
• 1. 연구 개발 과제의 개요 ... 6
• 2. 연구 수행 내용 및 성과 ... 37
• 가. 차세대 융복합 in-situ 나노분석시스템 구축 완료 ... 37
• 나. 정량성과 총괄 (2010~2017년 11월 20일 현재까지 누적) ... 46
• 다. 정량성과 세부내역 ... 47
• 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 79
• 4. 연구 개발 성과의 활용 계획 ... 81
• 가. 연구개발 목표 및 범위 ... 81
• 나. 전문분석지원을 통한 수입창출 ... 82
• 다. 기술지원을 통한 수입창출 ... 83
• 라. 나노소자/소재 개발 첨단 산업 관련사업 수주 ... 84
• 마. 세부 연구내용 ... 84
• 바. 기타 활용방안 ... 85
• 끝페이지 ... 87