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[국가R&D연구보고서] 저차원 소재게놈 제어평가기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 김정원
참여연구자 구자용 , 이인호 , 이우 , 문창연 , 엄대진 , 이승미 , 이주현 , 김대호 , 김용규 , 송재용 , 박선화 , 신호선 , 강상우 , 신정호 , 권수용 , 김용성 , 박현민 , 뉴엔비엣치엔 , 정윤환 , 홍석균 , 정기욱 , 류정아 , 서언미 , 박민규 , 임희선 , 펑티랭 , 김태건 , 최승연 , 박지혜 , 서성원 , 서성원 , 배정민 , 김영석 , 모나리자 , 전현구
보고서유형1단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2017-12
과제시작연도 2017
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
과제관리전문기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO201800014637
과제고유번호 1711062930
사업명 한국표준과학연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2018-06-02
키워드 나노소재.반도체.메모리.열전 에너지.변환효율.nanomaterials.semiconductor.memory.thermoelectric energy.conversion efficiency.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201800014637

초록

- 마이크로소자 기반 나노반도체 소자의 열전변환효율 측정평가 기술 개발 확보
- 고온용(150 ℃ ~ 700℃) 열전소자 및 모듈의 열전성능지수 및 발전효율 평가를 위한 평가시스템 제작 및 측정불학도 평가법 확립
- 박막형 소재의 열전수송특성 측정장비 개발 (불확도 제백계수 5%, 비저항 7%, 열전성능지수: 17%)
- 박막의 비접촉 두께방향 TDTR기반 열전도도 측정기술 개발 (-50~450℃) 및 절차서 작성
- 2D XY 평면형 열전소자의 열전성능 평가시스템 구축완료 및 파워팩터 측정불확도 평가절차 확립

Abstract

Ⅳ. Results
- Development of Si-based single atom memory technology
- Development of SiOx-based forming-free resistive memory technology
- Development of surface-sensitive techniques for measuring the dielectric constant and Debye length at the semiconductor surface
- Developme

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 6
  • CONTENTS ... 9
  • 목차 ... 11
  • 제1장 연구개발과제의 개요 ... 13
  • 제 1 절 연구개발의 필요성 ... 13
  • 제 2 절 국내외 연구동향 ... 14
  • 제2장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 17
  • 제 1 절 반도체 표면물성 측정기술 및 예측기술 개발 ... 17
  • 1. 실리콘 기반 단원자 메모리 기술 개발 ... 17
  • 2. 반도체 표면의 유전차폐상수 및 드바이 상수 측정기술 개발 ... 23
  • 3. 반도체 표면 하전결함의 이온화 상태 측정기술 개발 ... 28
  • 4. 실리콘 산화물 기반 포밍불요 저항변화 메모리 원천기술 개발 ... 30
  • 5. 실리콘 웨이퍼 Si(111)-7x7 표면에서 CO 분자의 흡착 ... 35
  • 6. CO 흡착과 열분해를 이용한 C 원자의 실리콘 표면하 침투 ... 39
  • 7. Si(111) 표면 빈자리 결함의 강자성 스핀정렬 계산연구 ... 41
  • 8. 탄소가 주입된 Si(100) 표면에서 C 원자의 확산 연구 ... 45
  • 9. 제일원리 전산모사 통한 2차원 나노구조체 진동물성 예측과 해석 ... 48
  • 10. 양자기반 전산모사 기법을 활용한 여기상태 나노구조 변화 예측 ... 50
  • 제 2 절 멀티스케일 열전변환 효율 측정 ... 53
  • 1. 나노반도체소재 열전변환 효율측정기술 개발 ... 53
  • 2. 고온용 열전전소자 및 모듈의 열전특성 측정시스템 개발 ... 74
  • 3. 열전박막의 두께 방향 열전특성(ZT) 측정 기술 ... 90
  • 4. TDTR법 기반 열전 박막의 cross-plane 방향 열전도도 측정 연구 ... 121
  • 5. 평판형 열전모듈 평가시스템 개발 ... 134
  • 제 3 절 저차원 에너지 소재의 설계와 전자구조 ... 155
  • 1. 역방향 제일원리 물질 설계/탐색 프로토콜의 개발과 응용 ... 155
  • 2. GaAs 웨이퍼의 하향식 에칭 기술 개발과 응용 ... 165
  • 3. 2차원 MoS2 반도체 원자전자구조 제일원리 연구 ... 182
  • 3. 초고속 전하동력학의 측정 ... 203
  • 4. Black phosphorous (BP)의 초박막화 ... 206
  • 제3장 목표달성도 및 관련분야 기여도 ... 208
  • 제4장 연구개발결과의 활용계획 ... 215
  • 끝페이지 ... 217

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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