초록 ▼

□ 개발 목적 및 필요성
1. 복합 금속의 적용을 통하여 750℃, 99%이상의 CH₄ 분해효율을 갖는 고효율 고 내구성의 PFCs분해용 촉매제조 기술개발
2. 첨가제 적용을 통한 촉매의 기계적 강도 개선
3. 흡착제와 적용을 통해 PFCs와 HF를 동시 제거함으로써 HF에 의한 시스템 부식 방지

□ 연구개발 결과
1. 복합 금속 적용을 통해 750℃의 온도 조건 하에서 99%이상의 CH₄ 전환율을 가지며 내구성을 갖는 촉매를 개발함.
2. 원료배합순서

□ 개발 목적 및 필요성
1. 복합 금속의 적용을 통하여 750℃, 99%이상의 CH₄ 분해효율을 갖는 고효율 고 내구성의 PFCs분해용 촉매제조 기술개발
2. 첨가제 적용을 통한 촉매의 기계적 강도 개선
3. 흡착제와 적용을 통해 PFCs와 HF를 동시 제거함으로써 HF에 의한 시스템 부식 방지

□ 연구개발 결과
1. 복합 금속 적용을 통해 750℃의 온도 조건 하에서 99%이상의 CH₄ 전환율을 가지며 내구성을 갖는 촉매를 개발함.
2. 원료배합순서 및, 첨가제에 따른 촉매 강도 개선 유무를 확인함으로써 대용량 촉매식 PFCs 공정 적용을 위한 촉매의 강도 개선 완료 (평균강도: >20kgf/cm2)
3. Calcium계 흡착제 적용을 통해 반응물인 CH₄와 생성물인 HF의 동시 제거(T:750℃, CH₄ conv.:99%, outlet HF: >2ppm)

□ 성능사양 및 기술개발수준
1. 제품명 : PFCs 가스 분해용 촉매
2. 색상 : Ivory
3. 적용공정 : 반도체회사 및 반도체 가스 제조업체
4. 적용온도 : 300-800 ℃
5. 용도 : PFCs 분해 (CF₄, SF₆, NF₃, HFC, HCFC 등)
6. 성능 : 750℃의 온도 조건 하에서 99%이상의 CF₄, SF₆ 전환

□ 활용계획
1. 본 과제를 통해 개발되는 고내구성의 PFC 분해촉매는 현재 반도체 및 LCD 제조공정에 공급되는 상용화 PFC촉매를 대체함으로써, 약 10억 이상의 매출액을 달성할 것으로 예상
2. 현재 PFCcjfl 기술과 관련된 환경규제 강화가 예상됨으로 인해 향후 매출의 확대의 가능성이 높을 것으로 판단됨

( 출처 : 요약서 4p )

Abstract ▼

Ⅳ. Results
In this study, we have developed a durability catalyst that does not show deactivation when the catalyst is over 500 hours of reaction, and succeeded in manufacturing a highly efficient PFC decomposition catalyst with durability.
In addition, the mechanical strength of the catalyst

Ⅳ. Results
In this study, we have developed a durability catalyst that does not show deactivation when the catalyst is over 500 hours of reaction, and succeeded in manufacturing a highly efficient PFC decomposition catalyst with durability.
In addition, the mechanical strength of the catalyst was improved to above 20 kgf. When the reaction temperature of PFCs was 750 ℃, the decomposition efficiency of 99% or more was secured. Through the application of Ca-based adsorbent, simultaneous decomposition of HF by PFCs and product was confirmed, the concentration of outlet HF was less than 2 ppm. Through this study the possibility of simultaneous removal of PFCs and HF by adsorbent was confirmed.

( 출처 : SUMMARY 10p )

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출서 ... 2
• 제출문 ... 3
• 요약서 ... 4
• 요약문 ... 6
• SUMMARY ... 9
• 목차 ... 11
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 14
• 1.1. 연구개발 목적 ... 14
• 1.2. 연구개발의 필요성 ... 14
• 2. 연구개발의 국내·외 현황 ... 16
• 2.1. 해외 기술개발 동향 ... 16
• 2.2. 국내 기술개발 동향 ... 19
• 3. 연구수행내용 및 결과 ... 21
• 3.1. 연구개발의 내용(범위) 및 최종목표 ... 21
• 3.1.1. 연구개발의 최종목표 ... 21
• 3.1.2. 연도별 연구개발의 목표 및 내용 ... 21
• 3.1.3. 연도별 연구개발의 추진일정 ... 22
• 3.1.4. 주요 연구계획 변경사항 ... 22
• 3.1.5. 평가의 착안점 및 기준 ... 22
• 3.1.6. 연구개발의 추진전략·체계 및 연구수행 방법 ... 24
• 3.1.7. 연차별 연구수행 방법 ... 26
• 3.1.8. 기술의 차별성 ... 27
• 3.2. 세부 개발내용 및 방법 ... 30
• 3.2.1. 연구개요 ... 30
• 3.2.2. 실험방법 ... 30
• 3.2.3. 상용촉매의 비활성화 원인분석 ... 33
• 3.2.4. 활성물질 적용을 통한 촉매의 성능개선 ... 36
• 3.2.5 내열성 증진 물질의 적용을 통한 촉매 개발 ... 42
• 3.2.6 촉매 양산 기술 및 강도 개선 ... 50
• 3.2.7. 흡착제 적용 실험 ... 55
• 3.3 연구개발 결과 요약 ... 58
• 4. 목표달성도 및 관련분야 기여도 ... 60
• 4.1. 목표달성도 ... 60
• 4.2. 관련분야 기여도 ... 61
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 62
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 64
• 7. 연구개발결과의 보안등급 ... 64
• 8. 국가과학기술종합정보시스템(NTIS)에 등록한 연구시설·장비 현황 ... 65
• 9. 연구개발과제 수행에 따른 연구실의 안전조치 이행실적 ... 65
• 10. 연구개발과제의 대표적 연구실적 ... 65
• 11. 기타사항 ... 66
• 12. 참고문헌 ... 66
• 끝페이지 ... 69