초록 ▼

○ 스퍼터링 공정을 적용한 저가형 CZTSSe 박막 태양전지 소자 효율 13.7 % 구현
○ Inner 가스 분위 조절 열처리 공정 개발을 통한 CZTS 계 박막 제조 기술 개발
○ 열 인가 방식과 열처리 시스템 및 공정 변경에 의한 CZTS 계 박막 성장 개발 및 이를 통한 고품위 CZTS계 광흡수층 제작
○ SAS(Sufurization after Selenization) 공정 개발을 통한 광흡수층 S/Se 조절
○ 순수 금속 전구체 열처리중 발생되는 Zn 손실을 혼합 황화수소 가스 분위기에서 열처리하여 전

○ 스퍼터링 공정을 적용한 저가형 CZTSSe 박막 태양전지 소자 효율 13.7 % 구현
○ Inner 가스 분위 조절 열처리 공정 개발을 통한 CZTS 계 박막 제조 기술 개발
○ 열 인가 방식과 열처리 시스템 및 공정 변경에 의한 CZTS 계 박막 성장 개발 및 이를 통한 고품위 CZTS계 광흡수층 제작
○ SAS(Sufurization after Selenization) 공정 개발을 통한 광흡수층 S/Se 조절
○ 순수 금속 전구체 열처리중 발생되는 Zn 손실을 혼합 황화수소 가스 분위기에서 열처리하여 전구체 원소 손실을 억제함
○ Cu-Sn 동시 스퍼터링 공정방법을 통한 전구체 Porous Sn 박막 문제 해결
○ 금속 및 SnS 화합물 전구체를 이용한 CZTSSe 태양전지 제작
○ Sn/Cu/Zn/SnS/Mo glass 전구체 적용을 통한 CZTS 계 박막 성장 개발
○ 화합물 및 금속 전구체 결정 성장 메커니즘 규명
○ Cd-free Zn(O,S) 버퍼층 소재 적용을 위한 ALD 공정 및 소자 기술 개발
○ Co-evaporator 방식을 이용하여 Sb₂Se₃ 흡수층 제조 기술 개발
○ 유연기판을 이용하여 flexible Sb₂Se₃ 박막 태양전지 제작
○ Mo-foil 기반의 Sb₂Se₃ 박막 태양전지 2.78% 효율 달성

( 출처 : 보고서 초록 3p )

Abstract ▼

IV. Result of research
1. The development of selenization annealing process
○ Fabrication of CZTSSe absorption layer with Se metal and power source
○ Development of CZTSSe absorption layer by thermal condition
○ Development and optimizations of thermal process system

2. The develo

IV. Result of research
1. The development of selenization annealing process
○ Fabrication of CZTSSe absorption layer with Se metal and power source
○ Development of CZTSSe absorption layer by thermal condition
○ Development and optimizations of thermal process system

2. The development of sulfo-selenization annealing process and compound precursor
○ Development of annealing treatment process for hydrogen sulfide gas
○ Fabrication and analysis of 13.7 % CZTSSe cell in sulfur ambient condition
○ Development and optimizations of RTP system in inactive ambient condition
○ Fabrication and analysis of CZTSSe absorber layer using metal precursor with SnS layer
○ Development of thermal process technology of metal precursor with SnS compound thin film layer

3. The development of precursor stack
○ Fabrication of metal alloy thin film deposition technology
○ Development of metal stack by co-sputtering deposition process
○ Fabrication of CZTS system absorber layer using metal alloy precursor layer

4. The development of Sb₂Se₃ thin film solar cells using co-evaporation process
○ Fabrication and analysis of Sb₂Se₃ absorber layer by co-evaporation of Sb₂Se₃ source and Se source
○ Fabrication and analysis of Sb₂Se₃ absorber layer by substrate temperature

5. The development of Sb₂Se₃ thin film solar cells using flexible substrate
○ Fabrication and analysis of flexible Sb₂Se₃ thin film solar cell
○ Fabrication and characteristics of flexible Sb₂Se₃ thin film solar cells with photovoltaic efficiency of 2.78%

( 출처 : SUMMARY 7p )

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• S U M M A R Y ... 6
• C O N T E N T S ... 9
• 목차 ... 10
• 표목차 ... 12
• 그림목차 ... 13
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 16
• 1. 연구개발의 목적 및 필요성 ... 16
• 2. 연구개발의 범위 ... 21
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 22
• 1. 진공 공정 기술 현황 ... 24
• 2. 용액 공정 기술 현황 ... 39
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 47
• 제 1 절 태양전지 소자 기초 이론 ... 47
• 제 2 절 고효율 CZTS계 태양전지 기술개발 ... 52
• 1. 셀렌화 열처리 공정 기술 개발 ... 53
• 2. 셀렌-황화 열처리 공정기술 개발 ... 63
• 3. 전구체 적층 구조 개발 ... 80
• 제 3 절 기능성 박막 태양전지 기술개발 ... 88
• 1. 동시 증발법을 이용한 Sb2Se3 박막 태양전지 개발 ... 88
• 2. Sb2Se3 유연 태양전지 개발 ... 92
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 99
• 1. 연구개발 목표의 달성도 ... 99
• 2. 관련분야의 기술발전 기여도 ... 99
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 100
• 1. 추가연구의 필요성 ... 100
• 2. 타 연구에의 응용 및 기업화 추진방안 ... 101
• 3. 활용계획 ... 101
• 4. 기대효과 ... 101
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 103
• 제 7 장 참고문헌 ... 108
• 끝페이지 ... 118