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NTIS 바로가기주관연구기관 | 소프트에피 |
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연구책임자 | 박중서 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800035885 |
과제고유번호 | 1711062613 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | UV LED.Flip-Chip.Large Area.High Power.AlGaN Template. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800035885 |
1. 연차목표 ( 1차년도 )
◦ 고품위 AlGaN 템플릿 (Al 조성비 5% 이상)을 개발
◦ 365~375nm 자외선 LED 에피 구조 및 성장 개발 (MOCVD 이용)
◦ 대면적 고출력 플립칩 LED 개발
- 광출력: 1W @ 1A 이상 ( 65x65mil 칩사이즈 )
- 동작전압: 3.8V 이하
2. 개발내용 및 결과
◦ 고품위 AlGaN 템플릿 개발 결과
- Al 조성비 : 6% 이상
- XRD (002) : 평균 228 arcsec ( 5 EA )
- XRD (
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