최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
---|---|
연구책임자 | 임동하 |
참여연구자 | 문형석 , 문건대 , 정영규 , 한혁수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-12 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800036482 |
과제고유번호 | 1711063187 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2018-08-04 |
키워드 | 수소에너지.나노구조체.다공성 지지체.파우더 원자층박막증착법.고전자이동도트랜지스터.수소센서.에피박막.질화갈륨.Hydrogen.Porous material.Atomic layer deposition.HEMT (High-electron mobility transistor).Hydrogen sensor.Epitaxial thin film.AlGaN. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036482 |
연구내용
○ 고기능성 표면증착기술을 활용한 고효율 수소제조용 촉매 개발
- 수소제조용 다공성 나노구조 지지체 및 활성금속 소재 기술 개발
- 나노구조체 파우더 촉매용 원자층박막증착 시스템 기술 개발
○ 센서용 AlGaN/GaN HEMT 소자 개발
- 2인치 웨이퍼레벨의 AlGaN/GaN HEMT 에피 성장 기술 개발
- 2인치 HEMT 소자 공정 기술 개발
연구개발성과
○ 정성적 성과
- 수소제조용 다공성 3차원 나노구조 알루미나 지지체 합성법 개발 (12월 출원예정)
→
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.