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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 박제성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-10 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800036690 |
과제고유번호 | 1711063281 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2018-08-04 |
키워드 | 규석광.사염화규소.테트라에틸오르토실리케이트.SiO2.Silicon tetrachloride.TEOS. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036690 |
제 1장 개요
제 1절 연구개발 목표
ㅇ 규석광을 이용한 사염화규소 제조 설비 설계 기술 자문
- 주요 물질수지 흐름 계산도 제공
- 다양한 조건에 따른 최적 설계 방안 제시
ㅇ 사염화규소 제조 공정 개선
- 기존 실험데이터 해석 및 문제점 파악
- 신규 제조 공정 제안 및 실험을 통한 설계 데이터 확보
(출처 : 본문 제 1장 개요 5p)
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