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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 강은구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-04 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201800039454 |
과제고유번호 | 1415140007 |
사업명 | 제조기반산업핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 고밀도 전자빔 피니싱.고밀도 플라즈마 전자빔소스.진공 5축 나노스테이지.고밀도 전자빔 집속렌즈.고밀도 전자빔 스캔장치. |
□ 핵심기술
고밀도 전자빔 피니싱 기술은 전자빔을 고밀도 화하여 가공물에 직접 조사하는 방식으로 가공물의 표면 조도 및 특성을 향상 시킬 수 있는 기술
□ 최종목표
□ 정정밀 기계류부품, 금형 등의 최종 품질을 결정하는 피니싱 공정을 고속·고효율화 및 청정화를 위한 대면적 3D 고밀도 전자빔 피니싱 시스템 및 공정기술 개발
○ 15mA/cm2급 고밀도 전자빔 플라즈마 소스 및 집속렌즈 개발
- 15mA/cm2급 고밀도 전자빔 플라즈마 소스 개발
- 40k
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