최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엑스엘 |
---|---|
연구책임자 | 주흥로 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201800040242 |
과제고유번호 | 1711041031 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 레이저 간섭계.nm급 미소 변위 측정기.직각 변조.Quadrature detection. |
핵심기술
파장이 안정화된 반도체 레이저 광원과 광섬유 기반의 nm급 미세 변위 측정이 가능한 변위측정 시스템
최종목표
1nm의 해상도를 갖는 3축 측정이 가능한 간섭계 제품개발
개발내용 및 결과
통상의 간섭계는 HeNe 레이저와 같은 기체레이저와 bulk optics로 구성 되므로, 이동성에 제약이 따르며, 소형화에도 한계가 있다. 그러나 반도체 레이저와 광섬유를 이용한 간섭계는 이러한 제약을 극복할 수 있음. 본 연구에서는 광 간섭계를 통해 목표대상에서 반사되며 추가적인 경로를 갖는 광과
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.