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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국디스플레이연구조합 |
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연구책임자 | 염근영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-02 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040326 |
과제고유번호 | 1415149536 |
사업명 | 기계산업핵심기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2018-09-22 |
키워드 | 플라즈마기상증착.레이저.하이브리드.플렉시블.유기소자.PECVD.Laser.hybrid.Flexible.organic device. |
핵심기술
ㅇ 레이저를 단독 혹은 플라즈마와 동시에 인가하여 밀봉용 무기박막의 품질을 개선하는 기술
최종목표
ㅇ 레이저를 이용한 기판폭 0.5m 이상의 유연 유기소자 밀봉용 하이브리드 무기박막 증착시스템 개발
- 레이저에 의한 가스 열분해 및 밀봉박막 형성 메커니즘 연구
- 공정조건(레이저 주파수, 출력, 증착온도 및 가스 압력 등)에 따른 박막특성 연구
- 박막형성 에너지(플라즈마/레이저)간의 상호작용 활용 밀봉박막 특성 향상기술 개발
- 표면 무결함(Damage-free)의 0.5 ㎛
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