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NTIS 바로가기주관연구기관 | 프라임솔루션(주) |
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연구책임자 | 홍장식 |
참여연구자 | 서범성 , 박광서 , 이혜민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-06 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800042091 |
과제고유번호 | 1711055108 |
사업명 | ICT유망기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 반도체 플라즈마 공정.공정진단.통합 진단 해석.Semiconductor Plasma Processing.Processing Diagnostics.Integrated Analysis. |
핵심기술
- 반도체 플라즈마 공정 진단용 다중센서의 통합 모니터링 기반 공정진단 기술
최종목표
- 다중센서 빅데이터 기반 반도체 플라즈마 공정 해석 모델 및 알고리즘 개발과 이를 활용한 공정진단 솔루션 개발
· 플라즈마 공정해석 알고리즘(SW)/공정진단 솔루션 시스템(HW+SW)
개발내용 및 결과
- 다중센서 데이터 통합 모니터링 솔루션 개발
· 통합진단모니터링, 진단정보 빅데이터 처리, 공정 이상판정
- 이종센서 데이터 통합 모니터링 검증을 위한 장비 플랫폼 구축
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