초록 ▼

연구목표
◦ 최종 연구목표
- 플라즈모닉 메타물질 기술과 양자형 적외선 소자 기술을 융합하여 차세대 적외선 측정·영상 시스템에 적용 가능한 고감도/신기능 적외선 검출소자의 핵심기술을 개발
- 다기능 다중파장/편광 적외선 광전자 소자 기술 개발을 통하여 다양한 산업분야에서 요구되는 차세대 적외선 측정 및 적외선 시스템의 핵심 부품 요소 기술을 확보

◦ 1단계 연구목표
- 적외선(IR) 대역에서 파장변조, 흡수효율, 편광 특성 향상을 가지는 다양한 플라즈모닉 메타물질 구조의 해석 연구 및 특성 평가 기

연구목표
◦ 최종 연구목표
- 플라즈모닉 메타물질 기술과 양자형 적외선 소자 기술을 융합하여 차세대 적외선 측정·영상 시스템에 적용 가능한 고감도/신기능 적외선 검출소자의 핵심기술을 개발
- 다기능 다중파장/편광 적외선 광전자 소자 기술 개발을 통하여 다양한 산업분야에서 요구되는 차세대 적외선 측정 및 적외선 시스템의 핵심 부품 요소 기술을 확보

◦ 1단계 연구목표
- 적외선(IR) 대역에서 파장변조, 흡수효율, 편광 특성 향상을 가지는 다양한 플라즈모닉 메타물질 구조의 해석 연구 및 특성 평가 기술 연구
- 플라즈모닉 메타물질 구조 결합용 양자형 적외선 검출 소자 제작을 위한 구조설계/에피기판성장/소자제작 기술 확보
- 실시간 적외선 분광타원측정기/반도체 식각 공정 모니터링 시스템에 적용 가능한 신기능 플라즈모닉 메타물질 구조 결합 적외선 소자 설계

연구내용
◦ 1년차 연구내용
- 구조 예측 전산모사를 통한 최적화된 적외선 대역 효율 향상 및 공명 구조 PM 설계
- 구조 예측 전산모사를 통한 메타 물질 기반의 초박막 적외선 편광 시트 구조 설계
- 양자효울 극대화를 위한 활성층 구조의 양자역학적 전산 모사
- 중·장파장 적외선 검출용 화합물 반도체 에피 기판 성장 및 제작

◦ 2년차 연구내용
- 양자형 (QDIP, T2SL) 적외선 배열소자 공정 기술 확보 및 제작
- 적외선 단위 소자 반응도, 검출률 특성 평가 및 분석
- 금속/유전체/반도체 플라즈모닉 구조 제작을 위한 나노-마이크로 공정기술 개발
- PM 구조와 양자형 적외선 소자의 결합 구조 설계 및 공정기술 개발

◦ 3년차 연구내용
- 적외선 편광 검출 특성 향상을 위한 PM 구조 설계/제작 기술 개발
- 다중 분광 영상 구현을 위한 bilayered PM구조 제작 및 표적 검출 알고리즘 개발
- 실시간 적외선 분광타원측정기에 적용 가능한 선형 적외선 소자 설계·제작 및 특성 평가

기대효과
(응용분야 및 활용범위 포함)
◦ 다중파장/편광 적외선을 측정하는 신기능 적외선 소자 기술은 막 태동하고 있는 새로운 개념의 측정 기술 분야로 본 연구를 통하여 독자적으로 기술개발에 성공한다면 향후 다양한 민수/군수/의료 산업 전반에 걸쳐 새로운 측정 분야를 창출하고 폭넓은 활용이 기대됨

(출처 : 요약문 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• Ⅰ. 과제 개요 ... 2
• 한 글 요 약 문 ... 4
• Ⅱ. 연구개발의 개요 및 목표 ... 5
• 1. 연구개발 개요 ... 5
• 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 10
• 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 12
• Ⅲ. 연구수행 내용 및 결과 (1단계) ... 13
• 1. 1차년도 연구성과 ... 13
• 2. 2차년도 연구성과 ... 24
• 3. 3차년도 연구성과 ... 32
• 4. 연구수행방법의 우수성과 등 ... 40
• 5. 고유임무별 기여내용 ... 40
• 6. 연구성과 및 활용 ... 41
• 7. 연구 투입 자원 내역 ... 47
• 8. 중간진도 점검 결과 및 개선내역 ... 51
• 9. 연구책임자의 자율 평가 의견 ... 51
• 10. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 51
• 11. 중요 연구변경 사항 ... 51
• 12. 기타 건의사항 ... 51
• Ⅵ. 2단계 추진계획 (‘18~’20) ... 52
• 1. 국내·외 관련 분야의 환경 변화 ... 52
• 2. 연구개발 목표 및 내용 ... 53
• 3. 연구 추진 계획 ... 54
• 4. 연구성과 목표 ... 55
• 4. 연구개발 추진체계 ... 56
• 5. 산·학·연 협동연구 추진계획 ... 56
• 6. 국제공동연구(협력) 추진계획 ... 56
• 7. 연구개발결과의 활용방안 및 기대성과 ... 57
• 8. 연구원 편성표 ... 59
• 9. 연구비 소요명세서 ... 60
• 10. 국가과학기술종합정보서비스(NTIS) 입력 자료 ... 64
• < 붙임 1 > 위탁연구 보고서 (1차년도) ... 67
• < 붙임 2 > 위탁연구 보고서 (2차년도) ... 73
• < 붙임 3 > 위탁연구 보고서 (3차년도) ... 82
• 끝페이지 ... 85