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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 최재구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-12 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900003668 |
과제고유번호 | 1711079771 |
사업명 | 한국전기연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-07-13 |
키워드 | 전계방출.박막.삼중점.X-선원.field emission.thin film.triple point.DLC.X-.ray source. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201900003668 |
1. 연구수행결과
(1) 고출력 장수명의 전계방출소자의 개발을 위해 다양한 재질과 형상에 대한 전계방출 이론을 분석함.
(2) 삼중점에서의 전계강화효과 및 전자거동특성을 분석함.
(3) 제안 전계방출소자의 캐소드, 케이드 그리고 아노드의 세 전극간의 형상 파라미터에 따른 전계분포, 전류-전압특성 그리고 전송율을, 전산모사를 통해 구함.
(4) 전계방출소자의 실제작을 위한 100 nm급 다층이종박막 개발공정을 설계함.
2. 특허 출원
(1) 메시 게이트를 이용한 전계방출 장치(10-2018-01
Each tip in the Spindt-type emitter has a limited current capacity that prevents the emitters from being used for higher current sources. Edge emitters with linear edges have been introduced to produce a large emission current over the Spindt-type emitters. The edge emitters have unique properties.
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