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무연 압전 소재 기반 유체제어용 1 kN급 액추에이터 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
연구책임자 정순종
참여연구자 김인성 , 구보근 , 송재성
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2018-12
과제시작연도 2018
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900003683
과제고유번호 1711079733
사업명 한국전기연구원연구운영비지원(주요사업비)
DB 구축일자 2019-07-13
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201900003683

초록 ▼

1. 연구과제의 개요
- 기술명 : 유체제어용 무연 압전 소재 및 액추에이터
- 세부기술 구성 : 디스펜서 액추에이터 기술, 밸브용 스택형 압전소자 및 정밀구동제어 기술, 무연 압전 세라믹 소재 및 제조공정 기술
- 무연 압전 소재/액추에이터 분야에서 세계적 수준의 부품소재 기술 개발을 목표로 함
- 유체제어용 액추에이터 기술 확보 및 시장으로 상용화 기술 개발을 목표로 함

○ 용도 및 적용분야
- 반도체 산업 분야 (최종 목표 설정 및 상용화 목표 분야)
- 적용부품 : 반도체 장비용

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • ▣ 과제현황 ... 2
  • 1. 연구과제의 개요 ... 2
  • 2. 목표달성도 ... 3
  • 가. 연구개발 최종목표 ... 3
  • 나. 당해연도 목표 대비 달성도 ... 3
  • 다. 최종 목표 사양의 접근 정도 ... 6
  • 3. 결과의 우수성 ... 6
  • 가. 기술적 우수성 ... 6
  • 나. 경제성 및 파급효과 ... 6
  • 다. 공익성 및 기타 사회적 기여성 ... 7
  • 끝페이지 ... 7

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