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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 유경훈 |
참여연구자 | 황준영 , 박수빈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-01 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900013861 |
과제고유번호 | 1711079290 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-09-07 |
제 1장 개요
제 1절 연구개발(지원) 목표
개발 목표 :
< 첨단 전자산업 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 방식의 냉원시스템 개발 >
o 밀폐형 냉각탑을 그대로 활용하여 프리쿨링 전용의 냉각탑이나 중간열교환기의 추가적인 설치 없이 냉동기와 프리쿨링의 동시 운전이 가능한 첨단 전자산업 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 방식의 냉원시스템 개발
- 클린룸 외기량 : 3,000 CMH(m3/h)
- 냉각 능력 : 20RT, 100RT급
- 냉각수 냉각 능력 : 95% 이상
- 연간 소
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