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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김규현 |
참여연구자 | 박경태 , 서석준 , 이빈 , 임경묵 , 한승연 , 원성재 , 전종철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900013862 |
과제고유번호 | 1711079296 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-09-07 |
제 1 장 개 요
제 1 절 연구개발(지원) 목표
가. 기술개발 최종목표
□ 다양한 표면흡착 오염물(유기물/무기물/산화물/손상층) 제거를 위한 플라즈마 시편 cleaning/etching 장비 개발
○ 시료 표면의 유기물/무기물/산화막/손상층 제거가 동시에 가능한 플라즈마(Plasma) 및 중성빔(Neutral Beam)을 이용한 초정밀 구조/화학 분석 장비용 Sample Cleaning/Etching 장비 개발
- 해외 선진 업체의 Ar Plasma Cleaner에 비해 우수한 성능 및 가격 경쟁력을 갖
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