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NTIS 바로가기주관연구기관 | 세원하드페이싱 |
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연구책임자 | 문흥수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900016733 |
과제고유번호 | 1711079598 |
사업명 | 연구개발특구육성(R&D) |
DB 구축일자 | 2019-10-05 |
키워드 | 산화이트륨플로린.플라즈마 용사코팅.내플라즈마.용사코팅분말.건식 에칭. |
□ 핵심기술
고내플라즈마 특성을 갖는 YOF 용사 분말 개발하고, 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하여 작은 크기를 갖는 YOF 용사 분말의 유동성을 부여하여 차별화된 기술을 확보, 이를 통해 치밀한 코팅막을 구현하여 내플라즈마 특성이 우수한 특성을 갖는 반도체 장비 부품 코팅용 YOF 용사 분말 개발.
□ 최종목표
• 고내플라즈마 특성을 갖는 YOF 용사 분말 개발
- 35 ㎛ 이하 YOF 용사 분말 제조 기술 확립
- 고치밀막 YOF 플라즈마 용사 코팅 공정 확립
□ 개발내용 및 결과<
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