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핵심기술
클린룸의 FFU와 센서 모듈을 통합 관리하는 무선통신 기반 원격제어 시스템. 고청정 클린룸에 최적화된 슬림형/고출력 BLDC 모터와 고효율/고역율 BLDC 제어장치.

최종목표
반도체 클린룸의 청정도를 유지하는 FFU 제어 시스템과 내부 환경 모니터링을 위한 센서 네트워크를 무선 통신 네트워크로 융합하는 클린룸 무선 통합제어 시스템을 개발한다. 무선통신 네트워크를 구축하고, 무선 센서 측정 장치, 고효율 BLDC 모터와 무선기반 고효율 제어기를 개발하며 각각의 기기들을 무선으로 연결하는 원격 디스플레이

핵심기술
클린룸의 FFU와 센서 모듈을 통합 관리하는 무선통신 기반 원격제어 시스템. 고청정 클린룸에 최적화된 슬림형/고출력 BLDC 모터와 고효율/고역율 BLDC 제어장치.

최종목표
반도체 클린룸의 청정도를 유지하는 FFU 제어 시스템과 내부 환경 모니터링을 위한 센서 네트워크를 무선 통신 네트워크로 융합하는 클린룸 무선 통합제어 시스템을 개발한다. 무선통신 네트워크를 구축하고, 무선 센서 측정 장치, 고효율 BLDC 모터와 무선기반 고효율 제어기를 개발하며 각각의 기기들을 무선으로 연결하는 원격 디스플레이 장치를 개발한다. 원격지에서 전체 시스템을 관리할 수 있는 PC 통합 모니터링 소프트웨어를 개발하고 이동중에도 시스템 상태를 확인할 수 있는 스마트기기용 어플리케이션을 개발한다.

개발내용 및 결과
1. 무선통신 모듈을 개발하여 FFU 및 센서의 무선통신 네트워크를 구축하였다.
2. 무선통신 기반의 온도, 습도 및 기류 센서 모듈을 개발하였다.
3. 임베디드 ARM 프로세서와 7인치 터치 디스플레이 기반의 무선 원격 디스플레이를 개발하였다.
4. 고정압 FFU/EFU에 사용이 가능한 700W급 습림형 고성능 BLDC 모터를 개발하였다.
5. 700W급 BLDC 모터에 대응하는 슬림형 고효율/고역율 BLDC 모터제어기를 개발하였으며 무선통신을 이용한 연동기능을 구현하였다.
6. 원격지에서 전체 시스템을 모니터링 할 수 있는 PC 윈도우 기반의 통합 모니터링 소프트웨어를 개발하였다.
7. 스마트폰, 태블릿 등에서 기기에서 구동되어 이동 중에도 시스템의 상태 확인이 가능한 스마트기기 어플리케이션을 개발하였다.

기술개발배경
산업현장에서 무선기기는 통신 간섭, 커버리지, 보안상의 이유로 일부 특정상황에 국한되어 사용되어 왔으나 최근 들어 Iot의 눈부신 발전과 함께 각종 규약과 표준이 제정되고 실제 적용사례와 안정성이 확보되면서 산업분야에서도 무선 통신 방식이 주목받고 있다.
반도체 클린룸 분야에서도 무선의 장점이 부각되면서 신규 공장에 적용하려는 검토가 진행되고 있다.
기존 클린룸에서는 FFU 모니터링과 클린룸 내부 환경 센서 모니터링이 분리되어 운영되어 왔으나, 최근 들어 비교적 저렴한 비용에 기류를 측정할 수 있게 되면서 FFU와 센서의 통합 모니터링이 경쟁력을 가질 것으로 예상되고 있다.
이상의 동향에 따라 FFU와 센서를 무선 네트워크로 통합하는 원격제어 시스템을 개발하여 기술적 우위를 확보하고 기업 경쟁력 재고, 신규 시장 창출에 활용하고자 한다.

핵심기술개발의 의의
클린룸 내부에서는 극히 제한적으로 사용되던 무선 통신을 클린룸 제어의 주력인 FFU와 센서에 도입하여 대규모 통합제어가 가능한 시스템으로 구축한다. 기존 유선방식의 FFU 모니터링 시스템은 국내기술이 세계 최고 수준이며 여기에 무선방식을 도입함으로써 더 높은 경쟁력을 확보할 수 있다.

적용분야
클린룸 FFU 제어 시스템, 클린룸 환경 센서 측정/감시 시스템, 공조/환기 등 각종 제어 시스템의 무선 모니터링.

(출처 : 요약 6p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 요약(초록) ... 4
• 연구개발사업 주요 연구 성과 ... 9
• 목차 ... 12
• 제 1 장 서론 ... 13
• 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 13
• 제 2 절 국내ㆍ외 관련 기술의 현황 ... 14
• 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적ㆍ경제적 파급 효과 ... 14
• 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 16
• 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 16
• 제 2 절 개발 내용 및 개발 범위 ... 18
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 20
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 20
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 20
• 2. 연구개발 추진 실적 ... 23
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과(고용성과 포함하여 전체 실적 작성) ... 52
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 87
• 1. 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 87
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 계획 ... 88
• 1. 기술개발 관련 시장 현황(시장진입 및 점유 가능성 포함하여 작성) ... 88
• 2. 사업화 계획 및 마케팅 전략(관련 투자계획 포함) ... 89
• 3. 사업화에 따른 수익성 자체분석 결과 ... 92
• 별첨1. 성과활용현황 및 계획 ... 93
• 별첨2. 성실이행 서약서 ... 97
• 별첨3. 자체보안관리진단표 ... 99
• 끝페이지 ... 100