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NTIS 바로가기주관연구기관 | 쏠라딘 |
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연구책임자 | 송성훈 |
참여연구자 | 남정규 , 변상윤 , 김용안 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-04 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020380 |
과제고유번호 | 1711078185 |
사업명 | 기후변화대응기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-04-25 |
키워드 | 원자기상증착법.롤투롤.인라인 설계.플렉서블 CIGS.턴키장비.ALD.Roll to Roll.In-line process design.Flexible CIGS.turn-key. |
1. 플렉서블 기판 폭 size를 고려한 R2R ALD 장비 설계
- R2R 연속 증착에 따른 On roll 기능 설계
- 공정과정에서 발생되는 열처리 unit을 고려한 장력 제어 설계
- R2R 공정시 압력/ 정밀 제어 시스템을 고려한 증착 정밀도 고려
- R2R 공정에 있어 플렉서블 기판의 이송속도 제어를 위한 축의 장력 제어
- Cd free 버퍼층 제작을 위한 대면적 Zn(O,S) 공정을 반영한 R2R 공정 설계 구축을 위한 기반기술 개발
2. 플렉서블 기판 폭 size를 고려한 R2R tur
Ⅳ. Results
ALD equipment which can be metalized with R2R design was done, based on 1st year study- Cd free buffer layer with flexible plate width 600, 1000mm
In addition, turn-key line with all flexible CISG solar cell process, considering flexible plate width 600, 1000mm size.
(출처 : SU
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