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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국해양대학교 Korea Maritime University |
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연구책임자 | 안지훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020797 |
과제고유번호 | 1711072673 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-02 |
키워드 | 금속칼코게나이드화합물.이차원 반도체 소재.플라즈마 원자층증착법.반도체 소자 집적.유연 전자 응용소자.웨이퍼 스케일. |
□ 연구개요
이차원 금속칼코게나이드 화합물은 고이동도 특성, 큰 광-전 효율 및 투명성과 유연성이 매우 우수하여 차세대 전자소자, 광전자소자 및 투명소자나 웨어러블 기기에 응용할 수 있다. 이를 산업적으로 확용하기 위해 대면적 소자집적이 가능해야 하고 대면적, 저온증착 기술 개발은 반드시 선행되어야 할 필수 개발 과제이다. 최근 웨이퍼 스케일의 대면적 증착 기술에 대한 연구가 진행이 되고 있으나, 유연소자 집적을 위한 저온공정 적용에는 한계가 존재한다. 따라서 본 과제에서는 저온증착과 고이동도 사이의 trade-off를 해결할
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