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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 이원균 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020897 |
과제고유번호 | 1711071526 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-09 |
키워드 | 이송계.공작기계.마찰력 모델.위치 제어.칼만필터.마찰력 보상 제어.진공.학습 알고리즘.적응형 관측기. |
□ 연구개요
고진공 환경에서 구동되는 이송계의 초정밀 위치제어를 위한 마찰력 보상 제어기를 제작한다. 반도체 장비용 이송계의 위치제어성능을 획기적으로 향상시킴으로써 공정 정밀도를 높이고, 새로운 공정의 적용을 가능하게 하고자 한다. 이를 위해 (1) 기압의 변화가 이송계 요소부품의 마찰력 특성에 미치는 영향을 이론적으로 분석하여 새로운 마찰력 모델을 제작하고, (2) 제작된 모델을 기반으로 환경변화(진공도, 부하하중, 윤활유의 양 변화 등)에 따른 마찰력 특성 변화를 고려하여 실시간으로 마찰력을 예측/보상하는 적응형 마찰력 보
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