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NTIS 바로가기주관연구기관 | 영남대학교 YeungNam University |
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연구책임자 | 류정호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020986 |
과제고유번호 | 1711073843 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-09 |
키워드 | 강유전.나노 결정립.고에너지 충돌 공정.에너지.고체 냉각.박막.상전이.전기적 특성.열적 특성. |
□ 연구개요
본 연구에서는 일반적인 세라믹/박막 공정에서는 구현할 수 없었던 크기 수십 nm 내외의 결정립으로 이루어진 고밀도의 강유전체 박막을 고에너지 충돌 공정으로 제조하고, 결정립크기의 나노화에 따른 미세구조의 변화, 전기적인 특성의변화 (강유전, 유전, 에너지 저장등), 열역학적 특성 변화 (상전이, 엔트로피 변화, 전기열량 효과 등) 에 관한 연구를 수행하였음.
또한 고에너지 충돌 공정과 CSD 공정을 결합함으로써, 우수한 내전압 특성을 확보하고자 함. 나노 결정립화 및 이중 특히 강유전체의 나노결정립화에 따른
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