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고에너지 충돌 공정을 이용한 고밀도 나노결정립 강유전 박막의 전기적, 열적 특성 연구
Research on electrical and thermal properties of high density nano grained ferroelectric thin films by high energy collision process 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 영남대학교
YeungNam University
연구책임자 류정호
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-06
과제시작연도 2018
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900020986
과제고유번호 1711073843
사업명 개인기초연구(과기정통부)(R&D)
DB 구축일자 2020-05-09
키워드 강유전.나노 결정립.고에너지 충돌 공정.에너지.고체 냉각.박막.상전이.전기적 특성.열적 특성.

초록

□ 연구개요
본 연구에서는 일반적인 세라믹/박막 공정에서는 구현할 수 없었던 크기 수십 nm 내외의 결정립으로 이루어진 고밀도의 강유전체 박막을 고에너지 충돌 공정으로 제조하고, 결정립크기의 나노화에 따른 미세구조의 변화, 전기적인 특성의변화 (강유전, 유전, 에너지 저장등), 열역학적 특성 변화 (상전이, 엔트로피 변화, 전기열량 효과 등) 에 관한 연구를 수행하였음.
또한 고에너지 충돌 공정과 CSD 공정을 결합함으로써, 우수한 내전압 특성을 확보하고자 함. 나노 결정립화 및 이중 특히 강유전체의 나노결정립화에 따른

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연구결과 요약문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
  • 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 5
  • (1). 나노결정립 강유전체 박막 제조 (두께 5μm, 밀도 95%이상) ... 5
  • (2). 전기적, 열적특성 평가시스템 구축 ... 8
  • (3). 나노결정립강유전체 박막의 전기열량연구 (ΔT > 10 K) ... 9
  • (4). 나노결정립 강유전체 박막의 에너지 충방전 연구 (30J/cc 이상) ... 11
  • (5). 표면 평탄화에 따른 내전압 특성 향상 연구 ... 13
  • (6). 나노결정립 강유전체 박막의 열적, 전기적 피로특성 연구 ... 14
  • 3. 연구개발결과의 중요성 ... 15
  • 4. 참고문헌 ... 16
  • 5. 연구성과 ... 17
  • 대표적 연구실적 ... 22
  • 끝페이지 ... 37

표/그림 (13)

참고문헌 (25)

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