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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 조형균 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900022770 |
과제고유번호 | 1711052018 |
사업명 | 개인기초연구(미래부) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 백플레인.박막형트랜지스터.전자피부.산화물.칼코겐화합물.플로팅전사.저온공정. |
□ 연구개요
3U(ultra-robust, ultra-lighweight, ultra-thin)의 감각적(light)으로 인지할 수 없는, 5㎛ 소자 두께 이하의 초박형 TFT 백플레인을 스트레처블 기판위에 무기물 소재를 이용하여 제작하는 기술을 확보하여 “50ppi급 생체모방형 e-skin 구동을 위한 고신뢰성 TFT 백플레인 소자를 개발”하고자 한다.
□ 연구 목표대비 연구결과
◆ e-skin용 백플레인 소자를 위한 이방성 전하전송 반도체 공정 조건 확보 및 평가 기반 구축
◇ 원자층 제어 공정법을
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