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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 정재경 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900023024 |
과제고유번호 | 1711052225 |
사업명 | 개인기초연구(미래부) |
DB 구축일자 | 2020-08-01 |
키워드 | 산화물반도체.고이동도.산소공공제어.박막트랜지스터.신뢰성.트랩분포.금속유도결정화.AMOLED. |
□ 연구개요
금속유도 결정화, 질산화물 소재 및 양자우물 구조 등의 새로운 개념을 도입하여 다결정 실리콘 반도체급 성능 (이동도 > 100 cm2/Vs)을 갖는 산화물계 반도체 소재를 개발한다. 이를 기반으로 소자 집적 공정 및 신뢰성 개선을 통해 차세대 AMOLED용 초고이동도/고신뢰성을 갖는 포스트 산화물 반도체 Backplane 기술을 개발한다.
□ 연구 목표대비 연구결과
1차년도
○ 산화물 반도체 결정화를 위한 촉매 및 열처리 공정 연구
○ Vertically gradie
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