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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 김택수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900023291 |
과제고유번호 | 1711051894 |
사업명 | 개인기초연구(미래부) |
DB 구축일자 | 2020-08-01 |
키워드 | 박막.기계적 물성.기계적 신뢰성.계면 접합력.박막 열팽창 계수.박막 고온 물성.박막 인장 시험.플렉서블 전자 소자.전자 소재. |
□ 연구개요
다층 박막 구조를 가지는 디스플레이, 태양전지, 배터리, 인쇄회로기판 등 다양한 차세대 디바이스들의 기계적 신뢰성을 확보하기 위해서는 각 디바이스를 구성하는 박막의 기계적 물성을 정량적으로 평가하는 것이 중요하다. 하지만 박막의 경우 매우 얇은 두께로 인해 기존의 기계적 물성 측정법으로 실험 자체가 불가능하다. 따라서 박막에 특화된 기계적 물성 평가 시스템 구축 및 물성 측정에 대한 연구는 과학 기술 분야 및 다양한 산업 분야에서 전반적으로 요구되고 있다. 본 연구에서는 박막에 특화된 다양한 기계적 물성 평가 시스
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