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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국세라믹기술원 |
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연구책임자 | 전대우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201900025215 |
과제고유번호 | 1345272319 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-29 |
키워드 | HVPE.AlN.Nanostructure.Epitaxial.Growth. |
□ 연구개요
본 연구에서는 고품질의 AlN template 성장을 위해 2,3차원의 나노구조를 이용하는 방법을 개발하려 함. AlN 성장기술은 최근 살균 소독 및 정화에 이용되는 UV-LED에 반드시 필요한 기술이지만 GaN 성장기술과는 다르게 Al의 표면에서의 짧은 migration length 등의 문제로 성장이 어렵고 성장시 Al의 내부 오염문제로 고품질의 AlN 성장은 상당히 어렵고 고가의 생산비용이 요구되고 있음. 이를 위해 결정성 향상과 동시에 광추출 효율을 향상 시킬 수 있는 PSS 기판을 적용하여 HVPE 성장법
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