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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 InHa University |
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연구책임자 | 이진균 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO201900025925 |
과제고유번호 | 1345272230 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-09-05 |
키워드 | 전자선 리소그라피.전자선 레지스트.나노 패터닝.유기전자소자.자유라디칼 반응.불소 화학.fluorous solvents. |
□ 연구개요
우수한 화학적 안정성 및 재료친화성/환경친화성/생체친화성을 지니는 고불소계 용제를 이용하여 코팅 및 현상이 가능하며 전자선 (electron-beam) 조사에 의해 유발되는 화학 반응을 통해 선택적으로 용해도가 변화하여 나노 크기의 템플릿 패턴을 형성할 수 있는 전자선 레지스트 재료의 분자설계, 합성 및 특성 평가 그리고 응용연구를 진행함. 구체적으로 불소화학 및 자유 라디칼 화학의 기반 지식을 확보하고, 이를 바탕으로 소재의 선택적 용해도 변화를 유발할 수 있는 적정 화학반응 메커니즘을 선정, 적용, 확인하는 것
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