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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 박용운 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000000953 |
과제고유번호 | 1345301483 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-30 |
키워드 | 반도체.리쏘그라피.극자외선.에너지 회수 가속기.자유전자레이저. |
□ 연구개요
본 연구는 산업용 가속기의 개발로, 반도체 공정에서 리쏘그라피용으로 사용되는 극자외선을 발생하는 가속기의 설계를 목표로 하였다. 이를 위하여 에너지 회수 기술을 응용한 자유전자레이저를 설계하였다. 연구 초반부에는 전자 빔을 발생시키고 한 번 가속 한 후에 언듈레이터를 통과시키는 single-turn 방식으로 디자인하여, 20kW 이상의 출력을 얻을 수 있었다. 그러나 전체 가속기의 크기가 70m*30m 수준으로 매우 큰 문제가 있었다. 또한 긴 가속장치로 인해 건설비가 높다는 단점도 있었다. 이를 해결하기 위해 가
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