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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국교통대학교 |
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연구책임자 | 유정호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000001700 |
과제고유번호 | 1345301674 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 압전.박막.배향.상변태.엑스레이 회절분석.PZT. |
□ 연구개요
센서 및 에너지 하베스팅, 그리고 소형 전자기기에 사용되고 있는 압전 박막은 높은 압전 계수를 위해 무결점 배향성을 가져야 한다. 이러한 압전 계수는 박막의 배향 정도와 관련이 있는데 현재 박막 배향 성장 메카니즘의 부재로 인해 이론치에 가까운 배향 정도는 나오지 않고 있는 실정이다. 따라서 본 과제에서는 실시간 XRD 기술을 통해 열처리 과정 동안 압전 박막의 상변태 및 배향 진화를 관찰하고 이를 통해 배향 성장 메카니즘을 규명하고자 하였다. 동시에 STEM 기술을 통해 기판과 박막 간의 상호 확산 현상을 원자
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