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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부경대학교 Pukyong National University |
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연구책임자 | 이용욱 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000002481 |
과제고유번호 | 1345302143 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 전이금속 산화물.금속 질화물.실리콘 기판.전계 유도 상전이.부성 미분 저항.박막 소자.전계 유도 발진.발진주파수.광 트리거링. |
□ 연구개요
본 연구는 “전이금속 산화물 및 금속 질화물 박막 신소재 기반 무용량성/무유도성발진 기술 개발”을 목표로 하며, 전계 유도 상전이 특성을 갖는 기존의 벌크형 바나듐 이산화물 (vanadium dioxide: 이하 VO₂) 이나 단일 VO₂ 박막과는 다른 물리적특성을 나타내는 금속질화물 (metal nitride: 이하 MN) 및 VO₂ 이종 구조 박막의 실리콘 (Si) 기판 상 증착 조건을 확보하여 VO₂/MN 박막 기반 단위 소자를 제조하며, VO₂/MN 박막 소자의 부성미분저항 (negative differen
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