초록 ▼

Ⅳ. 연구결과
본 연구과제의 1차년도 및 2차년도 주요 연구결과는 다음과 같다
1. GaN 나노구조물 공정 개발
- GaN 나노구조물 설계 및 패터닝 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 건식식각 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 TMAH 후처리 공정 개발

2. FET-type GaN 센서 소자 개발
- FET-type GaN 센서 소자 설계
- FET-type GaN 센서 소자 단위공정 개발
- FET-type GaN 센서 소자 공정
- FET-type GaN 센

Ⅳ. 연구결과
본 연구과제의 1차년도 및 2차년도 주요 연구결과는 다음과 같다
1. GaN 나노구조물 공정 개발
- GaN 나노구조물 설계 및 패터닝 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 건식식각 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 TMAH 후처리 공정 개발

2. FET-type GaN 센서 소자 개발
- FET-type GaN 센서 소자 설계
- FET-type GaN 센서 소자 단위공정 개발
- FET-type GaN 센서 소자 공정
- FET-type GaN 센서 소자 성능 분석

3. Bottom-up GaN 센서 소자 개발
- GaN Nanowire 성장 공정
- GaN Nanowire 복합 조 센서 소자 공정 및 성능 분석

(출처 : 요약문 10p)

Abstract ▼

Ⅳ. RESULTS
The results of the first year and the second year of this study are listed below:
1. Development of 50nm GaN Nanowire structure
- GaN Nanowire design and fine pattern process using e-beam lithography system
- Dry etch process for the fabrication of GaN Nanowire
- TMAH treat

Ⅳ. RESULTS
The results of the first year and the second year of this study are listed below:
1. Development of 50nm GaN Nanowire structure
- GaN Nanowire design and fine pattern process using e-beam lithography system
- Dry etch process for the fabrication of GaN Nanowire
- TMAH treatment for the fabrication of GaN Nanowire

2. Development of FET-type GaN sensor
- Design and fabrication of FET-type GaN sensor
- Development and optimization of unit processes for the fabrication of FET-type GaN sensor
- Characterization of FET-type GaN sensor

3. Development of Bottom-up GaN sensor
- Growth of GaN Nanowiresensor
- Fabrication and characterization of GaN Nanowire-based sensor

(출처 : ABSTRACT 14p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 인 사 말 씀 ... 5
• 제 출 문 ... 7
• 요 약 문 ... 9
• ABSTRACT ... 13
• CONTENTS ... 17
• TABLES ... 19
• FIGURES ... 20
• 목차 ... 24
• 표목차 ... 26
• 그림목차 ... 27
• 제 1 장 서 론 ... 31
• 제 1 절 연구의 필요성 ... 33
• 제 2 절 연구의 목적 ... 35
• 제 2 장 GaN 나노구조물 공정 개발 ... 37
• 제 1 절 GaN 나노 구조물 설계 및 패터닝 공정 개발 ... 39
• 제 2 절 GaN 나노구조물 제작용 건식식각 공정 개발 ... 41
• 제 3 절 GaN 나노구조물 제작용 TMAH 후처리 공정 개발 ... 53
• 제 3 장 Planar-type GaN 센서 소자 개발 ... 57
• 제 1 절 FET-type GaN 센서 소자 설계 ... 59
• 제 2 절 FET-type GaN 센서 소자 단위공정 개발 ... 68
• 제 3 절 FET-type GaN 센서 소자 공정 ... 71
• 제 4 절 FET-type GaN 센서 소자 성능 분석 ... 79
• 제 4 장 Bottom-up GaN 센서 소자 개발 ... 88
• 제 1 절 GaN Nanowire 성장 공정 ... 90
• 제 2 절 GaN Nanowire 복합 구조 센서 소자 공정 및 성능 분석 ... 91
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 94
• 제 1 절 고성능 GaN 바이오센서 기술 개발 ... 96
• 제 2 절 면역세포치료제의 난치암 치료효능 예측 기술 ... 97
• 제 3 절 난치암세포 및 NK세포 배양 microarray chip 개발 ... 99
• 제 6 장 결 론 ... 100
• 약어표 ... 103
• 기술문서 구성표 ... 104
• 끝페이지 ... 108