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NTIS 바로가기주관연구기관 | 강원대학교 Kangwon National University |
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연구책임자 | 윤종환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000004542 |
과제고유번호 | 1711089711 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 코어-쉘 나노입자.플로팅 게이트.메모리 소자.적층 터널링. |
□ 연구개요
본 연구에서는 SiO2 (low-k 유전체) 내에 Sn/Al2O3 (high-k 유전체) metal/Al2O3 코어-쉘 나노입자를 형성하여 low-k/high-k 적층 유전체를 터널링 층으로 하는 metal 입자 플로팅(floating) 케이트를 구현하는 것이다.
□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구과제는 2개의 주요 연구목표를 연차적으로 수행하여 최종 연구목표를 달성하도록 구성되어 연구를 추진하였으며
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