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NTIS 바로가기주관연구기관 | 울산과학기술원 Ulsan National Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 서용원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000004899 |
과제고유번호 | 1711084727 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 불화가스.클러스레이트.멤브레인.액화.하이브리드 공정. |
□ 연구개요
○ F-gas 회수를 위한 클러스레이트 기반의 고효율 하이브리드 공정 개발
- 반도체 제조 공정에서 배출되는 저농도 (<1%)의 F-gas (fluorinated gas, 불화가스, CHF₃, C₂F6, C₃F8, SF6 등)를 농축하기 위한 분리막을 탐색하고 F-gas 농축의 최적 운전 조건을 조사한다.
- 특정 기체의 동공 점유 선호 특성을 활용한 클러스레이트 (clathrate) 기반의 F-gas 분리 공정을 개발한다.
- 분리막 공정
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