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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 조성민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-11 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO202000007464 |
과제고유번호 | 1711043520 |
사업명 | 개인연구지원 |
DB 구축일자 | 2020-09-19 |
키워드 | 원자층성장.플라즈마기상증착.하이브리드박막.롤투롤.수분투과방지막.유전체거울.유기발광디스플레이.유연성.나노라미네이트.atomic layer deposition.plasma vapor deposition.hybrid thin film.roll-to-roll.moisture barrier.dielectric mirror.OLED.flexible.nanolaminate. |
□ 연구의 목적 및 내용
본 연구는 원자 레벨에서 조작이 가능한 무기박막의 원자층 성장과 기상증착이 가능한 유기박막을 동시에 사용하여 유무기 하이브리드 박막을 구현함으로써 현재까지는 가능하지 않았던 기능성을 부여하고자 한다. 특별히, 유연성을 가진 유기박막과 무기물 초극박막을 단일 반응기에서 roll-to-roll 공정으로 구현하는 창의적인 연구를 수행한다.
본 연구에서 사용한 소재는 알루미늄, 지르코늄 산화물, 및 이로 구성된 나노라미네이트, 그리고 플라즈마 고분자이다. 이러한 소재를 합성하는 공정은 원자레벨에서 제어가
□ Purpose& contents
This research aims to endow new functional properties to organic-inorganic hybrid thin films which can be constructed by atomic-level inorganic deposition and plasma vapor deposition of organics. Particularly, this creative research utilizes a roll-to-roll single reactor to fo
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