초록 ▼

Ru/C composite 틈새 메움제 개발을 위하여 파우더 코팅에 필요한 ALD Ru 박막 증착 공정을 개발하고, SiO₂ 파우더에 적용하여 ALD Ru의 파우더 코팅 공정 조건을 확보하였음. 개발된 ALD Ru 공정은 자기 제한적 성장 포화 특성을 나타내는 전형적인 ALD 성장 특성을 나타내었으며, 이러한 특성으로 SiO₂ 파우더 코팅 시 균일한 Ru 코팅막을 형성할 수 있었음. Ru이 코팅된 SiO₂ 파우더의 열전도도 특성을 가늠하기 위해 열전도도와 밀접한 상관관계를

Ru/C composite 틈새 메움제 개발을 위하여 파우더 코팅에 필요한 ALD Ru 박막 증착 공정을 개발하고, SiO₂ 파우더에 적용하여 ALD Ru의 파우더 코팅 공정 조건을 확보하였음. 개발된 ALD Ru 공정은 자기 제한적 성장 포화 특성을 나타내는 전형적인 ALD 성장 특성을 나타내었으며, 이러한 특성으로 SiO₂ 파우더 코팅 시 균일한 Ru 코팅막을 형성할 수 있었음. Ru이 코팅된 SiO₂ 파우더의 열전도도 특성을 가늠하기 위해 열전도도와 밀접한 상관관계를 가진 전기 전도성을 측정하였으며, ALD Ru이 적용된 SiO₂ 파우더의 저항이 확인됨에 따라, ALD Ru 공정으로 열전도도 개성 가능성을 확인하였음.

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

As the environmental demands for nuclear power increase, it is necessary to improve the efficiency of nuclear power generation. The purpose of this research is to improve the nuclear power generation efficiency by replacing the gap between the uranium pellet and the coated yarn in the nuclear fuel r

As the environmental demands for nuclear power increase, it is necessary to improve the efficiency of nuclear power generation. The purpose of this research is to improve the nuclear power generation efficiency by replacing the gap between the uranium pellet and the coated yarn in the nuclear fuel rods with a gap filler with excellent heat transfer efficiency. Commercial carbon powder was coated with ALD Ru to study the characteristics as a gap filler. Develop ALD Ru process using powder ALD equipment and secure ALD Ru process condition for powder coating. Study of heat transfer characteristics of synthesized gap fill material by using nuclear fuel rods and studying coating process technology which can improve heat transfer efficiency. In order to develop the Ru/C composite gap filler, ALD Ru thin film deposition process for powder coating was developed and applied to SiO₂ powder to secure the powder coating process condition of ALD Ru. The developed ALD Ru process showed typical ALD growth characteristics showing self-limiting growth saturation characteristics, and it was possible to form a uniform Ru coating layer by SiO₂ powder coating. In order to measure the thermal conductivity of Ru-coated SiO₂ powder, the electrical conductivity with a close correlation with the thermal conductivity was measured. As the resistance of the SiO₂ powder with ALD Ru was confirmed, the ALD Ru process confirmed the possibility of thermal conductivity.

(출처 : SUMMARY 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• CONTENTS ... 5
• 목차 ... 6
• 제1장 연구개발 과제의 개요 ... 7
• 1. 연구개발의 필요성 및 목적 ... 7
• 2. 연구개발의 개요 및 범위 ... 9
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 11
• 1. 국내 기술개발 현황 ... 11
• 2. 국외 기술개발 현황 ... 11
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 13
• 1. ALD Ru 공정 개발 ... 13
• 2. ALD Ru의 파우더 코팅 공정 개발 ... 16
• 3. ALD Ru 코팅된 파우더의 열전도 특성 ... 20
• 제4장 연구개발 결과의 활용 계획 ... 21
• 1. 추가연구의 필요성 ... 21
• 2. 타연구에서의 응용 ... 21
• 3. 사업화 추진 방안 ... 22
• 끝페이지 ... 23