초록 ▼

□ 마그네트론 동작특성과 주파수 정밀 제어 평가를 위한 환경 구축
1) 출력 및 위상제어를 위한 마그네트론 동작 특성 평가
2) 고출력 초고주파 마그네트론 고조파 및 잡음 감쇄 기술 연구
3) 마그네트론 주파수 고정 및 제어 기술 개발
4) 고출력 초고주파 전력 위상차 및 출력 특성평가 환경 구축
5) 전력 측정 기반 고출력 초고주파신호 위상차 측정 기술개발
6) 초고주파 대기 전송특성검증 환경 설계

□ 고유 요소기술 기반 마그네트론 위상/출력 정밀 제어 특성 분석
1) 고출력 초고

□ 마그네트론 동작특성과 주파수 정밀 제어 평가를 위한 환경 구축
1) 출력 및 위상제어를 위한 마그네트론 동작 특성 평가
2) 고출력 초고주파 마그네트론 고조파 및 잡음 감쇄 기술 연구
3) 마그네트론 주파수 고정 및 제어 기술 개발
4) 고출력 초고주파 전력 위상차 및 출력 특성평가 환경 구축
5) 전력 측정 기반 고출력 초고주파신호 위상차 측정 기술개발
6) 초고주파 대기 전송특성검증 환경 설계

□ 고유 요소기술 기반 마그네트론 위상/출력 정밀 제어 특성 분석
1) 고출력 초고주파 마그네트론 위상 정밀제어 평가 환경 구축
2) 고출력 마그네트론 구동 전원 잡음 최소화
3) 마그네트론 위상 고정밀 제어를 위한 주입 잠금 위상 제어회로 설계 및 제작
4) 마그네트론 위상 극한 제어 및 위상 제어 범위 극대화
5) 우주 대기환경과 고출력 초고주파 상호작용 검토를 위한 대기전송 모사 시스템 개발

(출처 : 초록 3p)

Abstract ▼

Ⅳ. Results
[1st Year]
- Completion of evaluation setting and high-power microwave module constitution
- Achievement of frequency stability (1e-3) and control bandwidth(0.5%) by noise suppression and injection locking
- Enhancement of frequency noise by the stabilization of anode voltage

Ⅳ. Results
[1st Year]
- Completion of evaluation setting and high-power microwave module constitution
- Achievement of frequency stability (1e-3) and control bandwidth(0.5%) by noise suppression and injection locking
- Enhancement of frequency noise by the stabilization of anode voltage and the shut-off of heater power
- Maximization of frequency control bandwidth and stabilization of frequency by suing external injection locking method

[2nd Year]
- Establishment and design of precise phase control system for high-power microwave magnetron (injection magnetron system equipped with phase locking loop)
- Achievement of extreme phase control (peak-to-peak 0.3°) for high-power (>800 W) microwave magnetron (phase detector measurement, world-best record)
- Completion of atmospheric transmission model development to review any possible interaction with microwave
- Measurement of electron density (>10¹³) in the plasma induced by high-power microwave

[Intellectual Properties]
- (10-2018-0138715) System and method for measuring phase difference of multiple signals
- (10-2018-0164275) Two-dimension array type super high frequency transmission system
- (10-2019-0173564) Ultra-high frequency plasma generating apparatus through phase control, substrate processing apparatus including the same and control method thereof

(출처 : SUMMARY 11p)

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 2보고서 초록 ... 3요 약 문 ... 4S U M M A R Y ... 9C O N T E N T S ... 15목차 ... 16제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 17 제 1 절 연구개발의 목적 및 필요성 ... 17 제 2 절 연구개발의 범위 및 내용 ... 18제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 20제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 22 제 1 절 대전력 초고주파 모듈 및 평가환경 구축 ... 22 제 2 절 마그네트론 주파수 안정화 ... 25 제 3 절 마그네트론 위상 정밀제어 ... 30 제 4 절 고출력 초고주파 대기 상호작용 ... 40제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 43 제 1 절 목표 달성도 ... 43 제 2 절 관련분야에의 기여도 ... 44제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 45제 6 장 참고문헌 ... 46끝페이지 ... 49