초록

1. 고전압 직류전계센서 설계기술
• Varactor 소자를 기반으로 한 직류전계센서 설계
: 측정가능 DC 전계범위 ±20kV/m, 정확도 ±0.05kV/m
• 반도체 소자를 기반으로 Prototype 제작
2. 고전압 직류전계센서 평가시스템
• DC 전원장치 구성
• 고전압 직류가압 평판 및 높이조절장치 설계
• 비교군 직류전계센서 설치 및 교정
3. 고전압 직류전계센서 응용분야 분석
• MEMS 소자
• Electric Optic 소자

(출처 : 초록 3p)

Abstract ▼

Ⅳ. Results
(1) High voltage DC field sensor design technology
• Due to the characteristics of the low power varactor device, it reflects the synchronous demodulation-based circuit to accurately specify the small amount of change in capacitance, thereby reducing external noise and increasing se

Ⅳ. Results
(1) High voltage DC field sensor design technology
• Due to the characteristics of the low power varactor device, it reflects the synchronous demodulation-based circuit to accurately specify the small amount of change in capacitance, thereby reducing external noise and increasing sensitivity to the varactor device.
- Measurable DC Field Range : ±20kV/m
- Accuracy : ±0.05kV/m
(2) Development of the semiconductor device for high voltage DC field sensor
• Fabrication of MSM-HEMT In0.17Al0.83N/GaN based Varactor
(3) High Voltage DC Field Sensor Evaluation System
• Development of IEEE Std. 1227-1990 based High Voltage DC Field Sensor Evaluation System

(출처 : SUMMARY 9p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• S U M M A R Y ... 7
• C O N T E N T S ... 11
• 목차 ... 12
• 제 1 장 연구개발 과제의 개요 ... 13
• 제 1 절 연구개발 기술의 개요 및 필요성 ... 13
• 제 2 절 연구개발의 내용 및 범위 ... 18
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 19
• 제 1 절 국내 기술수준 현황 ... 19
• 제 2 절 국외 기술수준 현황 ... 19
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 23
• 제 1 절 직류전계센서 개발 ... 23
• 1. 직류전계센서 ... 23
• 2. 직류전계센서 핵심 반도체 소자 ... 49
• 3. 직류전계센서 전극 설계 ... 54
• 제 2 절 고전압 직류전계센서 평가시스템 구축 ... 57
• 1. 고전압 직류전계센서 평가시스템 ... 57
• 2. 고전압 직류전계센서 평가시스템 제작 ... 59
• 제 3 절 센서 응용사례 ... 65
• 1. 근접센서 ... 65
• 2. 직류전계센서 ... 69
• 3. 직류전계센서 응용 ... 76
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 85
• 제 1 절 목표달성도 ... 85
• 1. 정량적 연구성과 달성도 ... 85
• 2. 연도별 목표 달성도 ... 85
• 제 2 절 관련분야에의 기여도 ... 86
• 제 5 장 연구개발 결과의 활용계획 ... 87
• 제 6 장 참고 문헌 ... 88
• 끝페이지 ... 94