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NTIS 바로가기주관연구기관 | 엠에이티플러스 MAT, Inc. |
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연구책임자 | 김동수 |
참여연구자 | 송형운 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-04 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO202000008206 |
과제고유번호 | 1485016125 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 전자산업.N2O저감.NF3 저감.반도체스크러버.온실가스.Electric industry.DeN2O.DeNF3.POU Scrubber (FCTR).Greenhouse gas. |
1. 과학적성과 : 학술지 게재 SCI건 1건, 비SCI 3건, 학술발표-국외 5건, 학술발표-국내 8건
2. 기술적성과
- 특허출원 : 3건, 특허등록 1건, 녹색기술인증 1건, 저작권 2건
- 성능평가
1) 처리유량 : 200LPM이상, 2) 가스 처리율(DRE) : N2O 90%, NF3/SiH4 99%이상 달성
3) 저에너지 스크러버 : 소비전력 0.6㎾/㎥ 이하 / 용수사용량 3LPM이하 달성
4) Thermal NOx : 30ppm
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