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연합인증

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전자산업공정 N2O 폐가스 처리용 200LPM급 FCTR 적용 스크러버 시스템 개발 및 실증 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 엠에이티플러스
MAT, Inc.
연구책임자 김동수
참여연구자 송형운
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2020-04
과제시작연도 2019
주관부처 환경부
Ministry of Environment
등록번호 TRKO202000008206
과제고유번호 1485016125
사업명 글로벌탑환경기술개발사업(R&D)
DB 구축일자 2020-07-29
키워드 전자산업.N2O저감.NF3 저감.반도체스크러버.온실가스.Electric industry.DeN2O.DeNF3.POU Scrubber (FCTR).Greenhouse gas.

초록 ▼

1. 과학적성과 : 학술지 게재 SCI건 1건, 비SCI 3건, 학술발표-국외 5건, 학술발표-국내 8건
2. 기술적성과
- 특허출원 : 3건, 특허등록 1건, 녹색기술인증 1건, 저작권 2건
- 성능평가
1) 처리유량 : 200LPM이상, 2) 가스 처리율(DRE) : N2O 90%, NF3/SiH4 99%이상 달성
3) 저에너지 스크러버 : 소비전력 0.6㎾/㎥ 이하 / 용수사용량 3LPM이하 달성
4) Thermal NOx : 30ppm

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 3
  • 단계보고서 요약서 ... 5
  • 요약문 ... 6
  • 목차 ... 8
  • 그림목차 ... 9
  • 표목차 ... 13
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 15
  • 1-1. 연구개발 목적 ... 15
  • 1-2. 연구개발의 필요성 ... 22
  • 1-3. 연구개발 범위 ... 28
  • 2. 연구수행내용 및 성과 ... 30
  • 2-1. 연구 내용 ... 30
  • 가. FCTR 반응기 요소부품 개발 ... 30
  • 나. FCTR 반응기 설계 및 개발 ... 71
  • 다. 온실가스 저감효과 검토 – 3차년도 성능 평가 기준 ... 189
  • 2-2. 연구 개발 성과 ... 194
  • 가. 특허 ... 194
  • 나. 학술지논문 ... 195
  • 다. 기술인증 ... 196
  • 2-3. 연구 결과 ... 197
  • 가. 학술회의발표 ... 197
  • 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 200
  • 3-1. 목표 ... 200
  • 3-2. 목표 달성여부 ... 201
  • 가. 연도별 연구목표 달성계획 ... 201
  • 나. 연도별 성과계획 ... 203
  • 3-3. 목표 미달성 시 원인(사유) 및 차후대책(후속연구의 필요성 등) ... 205
  • 4. 연구개발성과의 활용 계획 등 ... 206
  • 붙임. 참고문헌 ... 206
  • 끝페이지 ... 211

표/그림 (188)

참고문헌 (25)

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