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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 김태환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100002053 |
과제고유번호 | 1711086617 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-06-12 |
키워드 | 그래핀.그래핀 산화막.그래핀 소자.주사터널현미경.원자 조작. |
○ 연구개요
주사터널현미경의 원자 조작 기법을 활용하여, 현재 그래핀 소자 연구의 가장 큰 문제점인 고품질 산화막 형성과 결함 없는 소자 제작을 구현을 시도를 통해, 그래핀의 전기적 특성을 조절하고자 하였다. 먼저 고품질 그래핀을 SiC 기판에 직성장시킨 후 그 위에 산소 원자 이온빔을 이용해서 고밀도 그래핀 산화막을 구현하고자 하였다.
이렇게 구현된 그래핀 산화막의 산소 원자를 선택적으로 탈착시켜 원하는 모양으로 일부 그래핀 산화막을 다시 그래핀으로 환원하는 방법을 체계적으로 찾았다. 이런 실험 방법을 발전시켜 궁극적으
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