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초정밀 레이저 가공을 위한 극초단 자외선 모듈 개발
Development of ultrashort UV module for high precision laser processing 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
연구책임자 양주희
참여연구자 김준완 , 김철 , 박설원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2021-01
과제시작연도 2020
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202100006190
과제고유번호 1711121479
사업명 한국전기연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비)
DB 구축일자 2021-07-17
키워드 극초단 레이저.자외선.초정밀 가공.펨토초 증폭기.얇은 원통형 이득매질.ultrashort laser.UV.high precision laser processing.fs amplifier.thin-rod.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO202100006190

초록

〇 주요 연구결과
- 20 W급 극초단 자외선 모듈용 Yb:YAG thin-rod 적외선 광원 개발
- 패키징 및 최적화를 통한 극초단 적외선 광원 모듈 시작품 개발 및 제작
- 2차 조화파 발생실험을 통한 10 W급 515 nm 극초단 녹색광원 개발
- 자외선 발생실험을 통한 출력 3.9 W, 중심파장 343 nm 자외선 광원 개발
- 전산모사를 통한 선분산 보정기술을 도입한 비선형 압축기술 타당성 검증
- 1 MHz 급 펄스 반복률 제어기 최적화 및 모듈화

(출처 : 초록 3p)

Abstract

Ⅳ. R&D Results
〇 Main results of research
- Development of Yb:YAG thin-rod infrared light source for 20 Wultra-short ultraviolet module
- Development and production of ultra-short infrared light sourcemodule prototypes through packaging and optimization
- Development of a 10 W class 515

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 7
  • CONTENTS ... 11
  • 목차 ... 14
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 17
  • 제 1 절 연구개발의 목적 및 필요성 ... 17
  • 1. 연구 개발의 목적 ... 17
  • 2. 연구 개발의 필요성 ... 18
  • 3. 자외선 극초단 레이저의 활용 예 ... 20
  • 제 2 절 연구 개발의 범위 ... 22
  • 1. 최종 목표 ... 22
  • 2. 연차별 연구개발 내용 및 개발 목표 ... 23
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 24
  • 제 1 절 국내·외 기술 및 연구동향 ... 24
  • 제 2 절 국내·외 특허동향 ... 25
  • 1. 극초단 파장 변환 기술 관련 특허 현황 ... 25
  • 2. 비선형 펄스폭 압축 기술 관련 특허 현황 ... 28
  • 제 3 절 국내·외 산업동향 ... 29
  • 1. 극초단 파장 변환 기술의 현황 ... 29
  • 2. 비선형 펄스폭 압축 기술의 현황 ... 30
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 32
  • 제 1 절 15 W급 극초단 적외선 광원 최적화 연구 및 모듈화 ... 32
  • 1. 극초단 자외선 모듈용 극초단 적외선 광원 최적화 연구 ... 32
  • 2. 극초단 적외선 광원 모듈화 ... 34
  • 제 2 절 자외선 변환효율 20%급 극초단 파장 변환기 연구 및 모듈화 ... 36
  • 1. 극초단 자외선 모듈용 2차 조화파 발생 실험 ... 36
  • 2. 극초단 자외선 모듈용 자외선 발생실험 ... 39
  • 제 3 절 1 MHz 급 펄스 반복율 제어기 제작 ... 44
  • 제 4 절 비선형 펄스 압축 기술 관련 기술 조사 및 시스템 적용을 위한 기초 연구 ... 45
  • 1. 비선형 펄스 압축 기술 관련 기술 조사 ... 45
  • 2. bulk medium 에서의 비선형 광학 현상 연구 ... 46
  • 3. CT lulminescence 현상 관측 ... 48
  • 4. Multi-pass cell 기반의 비선형 펄스 압축 기술 연구 ... 49
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 52
  • 제 1 절 목표달성도 ... 52
  • 1. 연구 결과 내용 요약 ... 52
  • 2. 정량적 연구 목표 달성도 ... 52
  • 3. 정량 연구 성과 달성도 ... 53
  • 제 2 절 관련 분야에의 기여도 ... 53
  • 1. 기술적 성과 기여 ... 53
  • 2. 사회 경제적 성과 기여 ... 53
  • 3. 국가발전의 기여도 ... 54
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 55
  • 제 1 절 추가연구의 필요성 ... 55
  • 1. 비선형 펄스압축 기술의 후속 과제 연계를 통한 추가 연구 필요성 ... 55
  • 제 2 절 타 연구에의 응용 ... 55
  • 1. 극초단 자외선 모듈의 응용 확장 ... 55
  • 2. 개발된 기술의 응용 방안 ... 56
  • 제 3 절 기업화 추진방안 ... 57
  • 1. 성과확산 및 성과활용 계획 ... 57
  • 제 6 장 참고문헌 ... 60
  • 끝페이지 ... 62

표/그림 (38)

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참고문헌 (25)

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