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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)포인트엔지니어링 |
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연구책임자 | 박승호 |
참여연구자 | 이건화 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-07 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100006853 |
과제고유번호 | 1711075705 |
사업명 | ICT유망기술개발지원(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-07-17 |
키워드 | 마이크로 발광다이오드.전사.픽업툴.나노포러스 기판.Micro-LED.Transfer.Pick-up tool.Nano-porous substrate. |
□ 최종목표
o 주요 기능(또는 규격)
- 나노포러스 기판 제작
- 나노포러스 구조의 전사헤드 툴 구현 (nano size)
- 마이크로 LED pick-up 기능
- 마이크로 LED 실장(place) 기능
- 나노포러스 전사헤드를 이용한 자동 전사공정 구현
- 마이크로 LED array 구현 (20 x 20 array)
o 주요 성능치
- 나노포러스 전사 chuck size : 70mm x 70mm 이상
- 나노포러스 기판 평탄도 : ± 10um 이내
- 나노포러스 기판
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