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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
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연구책임자 | 김용준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-02 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
등록번호 | TRKO202100007509 |
DB 구축일자 | 2021-07-24 |
1. 연구 목표 및 결과 요약
가. 연구 목표
□ 최종 연구목표
○ 블록공중합체를 이용한 나노템플레이트 제작
○ Al2O3 protective layer etching 조건 확보
○ MoS2 나노메쉬 제작
○ 센서제작
나. 연구 결과 요약
연구 내용 - 블록공중합체를 이용한 나노템플레이트 제작
연구 결과 - template 제작에 대한 SEM 이미지 분석
연구 내용 - Al2O3 protective layer etching
연구 결과 - etching 조건 확
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