최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
---|---|
연구책임자 | 정대웅 |
참여연구자 | 조한철 , 김동섭 , 김재건 , 이준엽 , 김영삼 , 도남곤 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100008034 |
과제고유번호 | 1711125055 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-07 |
키워드 | 미세전자기계시스템.총유기탄소.이산화탄소.센서.고체전해질.박막.멤브레인.Micro-Electro-Mechanical systems (MEMS).Total Organic Carbon (TOC).Carbon dioxide (CO2).Solid electrolyte.Thin film.Membrane. |
□연구내용
○ 센서를 구성하는 박막(기판, 히터, 절연층, 전극, 고체전해질) 사이의 접합 특성 평가 및 물질선정
○ 열손실, 열팽창에 의한 센서의 성능 저하를 최소화하기 위한 마이크로 구조체 제작
○ 제작된 센서의 정량적 특성평가 및 모듈화 진행
□연구개발성과
○ 정성적 성과
- 총유기탄소 측정용 CO2 센서 요소기술 개발
- MEMS 공정을 이용한 히터 및 멤브레인 구조 제작기술 확보
- CO2 감지를 위한 고체전해질 밖막 제조 및 패터닝
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.