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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 이준균 |
참여연구자 | 성기평 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-07 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100008226 |
과제고유번호 | 1711101001 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 금형.세정.고무.금형세정.반도체금형.Mold.cleaning.rubber.Mold cleaning.Semiconductor mold. |
□ 기업의 애로사항
○ 반도체금형 세정용 합성고무시트의 Scorch time을 300초에서 200초로 단축하는 것은 단순히 경화제를 추가하여 scorch time을 100초 단축하는 경우 발생하는 Ts~T10의 초기 흐름성 변화를 단축전과 동일하게 유지하여 반도체 생산 현장의 다양한 금형의 cavity 형상에 대응하여야 하는 문제가 있음
○ Scorch time의 단축 개발제품은 다양한 클램프 압력에도 300초 기존제품 수준의 흐름성과 세정성을 유지하여야 함 (예; 저압형;25 tons 이하,고압형;25~80 tons)<
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