초록 ▼

□ 기업의 애로사항
○ 아크이온플레이팅 장치의 구조적 개선 및 효율 향상
○ 생산성을 높이기 위한 방안제시 및 코팅장치의 국산화

□ 지원(해결) 내용
○ Cylindrical arc cathode을 활용한 아크 이온 플레이팅 장치의 생산성 향상 (2 Door system)
○ Cylindrical arc cathode의 활용성 향상을 위한 module 설계 및 구조 변경
○ Cylindrical arc cathode module 설계 및 구조변경을 통한 코팅막 증착 균일성 확보

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□ 기업의 애로사항
○ 아크이온플레이팅 장치의 구조적 개선 및 효율 향상
○ 생산성을 높이기 위한 방안제시 및 코팅장치의 국산화

□ 지원(해결) 내용
○ Cylindrical arc cathode을 활용한 아크 이온 플레이팅 장치의 생산성 향상 (2 Door system)
○ Cylindrical arc cathode의 활용성 향상을 위한 module 설계 및 구조 변경
○ Cylindrical arc cathode module 설계 및 구조변경을 통한 코팅막 증착 균일성 확보

□ 지원 성과
○ 핵심 성과
- 제품개선 : 타겟 사용 효율 상승 (약 200mm 추가 사용 가능)
- 공정개선 : 코팅유효존 증가 (1,049mm→1,240mm)
- 생산성 향상 : 1.5〜2배 상승 (샘플 장입 개수 : 세라믹볼 코팅 시 5〜6만개 증가)
○ 추가 성과
- 기술료 1,100만원
○ 기술스펙 달성 성과

□ 기술적 우수성
○ 기존 제작되고 있던 실린드리컬 캐소드(cylindrical cathode)를 장착한 아크 이온 플레이팅 (arc ion plating) 장치의 요소 부분을 재설계하여 데드존(dead zone)을 없애고 코팅막 증착 유효존을 확장 시킴으로서 생산성이 높고, 효율이 뛰어난 장비로 업그레이드 할 수 있었음.

□ 성과활용(기대효과)
○ 기존 실리드리컬 캐소드 장착 아크이온플레이팅 장치의 업그레이드 및 국산화
- 2 door 시스템 구축으로 공정 속도가 빨라지고 생산성이 향상됨
- Dead zone(insulator parts)의 설계변경을 통하여 코팅막 증착 유효존의 확장 완료로 인한 타겟 사용 효율 상승
- 컨트롤러에서 아크스팟(arc spot)을 시간으로 조절함으로서 파워서플라이의 파손 위험성 감소로 인한 사용연한 연장
- 실린드리컬 캐소드를 장착한 아크이온플레이팅 장치를 이용한 새로운 코팅막 공정 개발을 위한 정부과제 기획

(출처 : 지원 사례 요약 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 기관주요사업 연구보고서 ... 3
• 지원 사례 요약 ... 4
• 목차 ... 6
• 제 1 장 개요 ... 7
• 제 1 절 연구개발(지원) 목표 ... 7
• 제 2 절 연구개발(지원)의 필요성 ... 7
• 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 범위 ... 11
• 제 2 장 연구수행(지원) 내용 및 결과 ... 13
• 제 1 절 연구개발(지원) 추진 체계 ... 13
• 제 2 절 당해연도 연구개발(지원) 내용 ... 15
• 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 결과 ... 23
• 제 3 장 수요기업 성과활용 ... 25
• 제 1 절 수요기업의 성과 활용 내용 ... 25
• 제 4 장 참고문헌 ... 26
• 끝페이지 ... 26