초록 ▼

연구개발목표
최종목표: 유연 초음파용 임피던스 정합/흡음 접착 필름 및 초음파 센서 개발
- 압전 세라믹 진동자의 성능 극대화를 위한 저온/고신뢰성 전기접속 소재 최적화
- 음향 특성을 갖는 필름 소재의 평가 및 검증을 위한 초음파 탐촉자 설계 기술 확보 및 개발
- 접착 필름 및 탐촉자 설계 검증을 위한 8인치 기반의 유연 배선 및 집적 플랫폼 기술 개발
- 전기접속 전도성 필름 소재의 사업화 기술 개발 및 참여기업 기술이전/상용화 추진
- 혈류 측정을 위한 초음파 센서 개발 및 사업화를 위한 기업

연구개발목표
최종목표: 유연 초음파용 임피던스 정합/흡음 접착 필름 및 초음파 센서 개발
- 압전 세라믹 진동자의 성능 극대화를 위한 저온/고신뢰성 전기접속 소재 최적화
- 음향 특성을 갖는 필름 소재의 평가 및 검증을 위한 초음파 탐촉자 설계 기술 확보 및 개발
- 접착 필름 및 탐촉자 설계 검증을 위한 8인치 기반의 유연 배선 및 집적 플랫폼 기술 개발
- 전기접속 전도성 필름 소재의 사업화 기술 개발 및 참여기업 기술이전/상용화 추진
- 혈류 측정을 위한 초음파 센서 개발 및 사업화를 위한 기업 발굴/기술이전 추진

연구개발내용
초음파 센서의 전기 및 음향 접속 소재 개발 및 1D 배열의 초음파 센서를 통한 소재의 검층 및 응용기술 개발
○ 저온/저압의 이방성전도성필름 (ACF) 및 접속 공정 개발
- 저온 경화가 가능한 에폭시 및 경화제 확보 및 경화도 측정/분석
- polymer, 금속 구체 등의 개발 및 평가를 통해 세라믹 접합에 최적화된 도전볼 개발
- 세라믹의 균열 및 특성 변화를 최소화 하기 위한 개발한 ACF기반의 저온/저압 접속 공정 개발
- 세라믹 접속 공정 및 ACF의 압력, 온습도 및 bending 신뢰성 평가
○ 유연한 초음파 소자 진동자의 성능 극대화를 위한 정합 및 흡음의 음향 특성을 갖는 접착 필름 소재 개발
- 저온 경화 matrix polymer를 이용한 세라믹 및 금속 입자에 따른 음향 접착 필름 제작 기술 확보
- polymer, 금속 구체 등의 개발 및 음향 특성 평가를 통해 정합/흡음 특성 DB 구축
- 세라믹의 균열 및 특성 변화를 최소화하기 위한 개발한 ACF기반의 저온/저압 접속 공정 개발
○ 필름 소재의 음향 특성 평가 및 검증을 위한 초음파 탐촉자 설계 및 응용기술 개발
- 접속 소재에 따른 음향 특성 평가 및 FEA 모델 구축
- FEA 모델 기반으로 맞춤형 센서 배열 구조 설계
- 1D 배열 소자의 전기적 특성 및 초음파 세기 등의 평가를 바탕으로 소자 분석 및 최적화
- 혈류 속도 및 양 측정 시스템 구축 및 초음파 센서를 이용한 가능성 평가
○ 접착 필름 및 탐촉자 설계 검증을 위한 8인치 기반의 유연 배선 및 집적 플랫폼 기술 개발
- 유연기판의 저온 TBDB (temporary bonding debonding) 기반 8인치 carrier 기판 기술 최적화
- 압전 진동자의 array 제조 기술 및 유연기판의 배선/형상 가공 기술 최적화

연구개발성과
○ 압전 세라믹 초음파 센서의 130도에서 신뢰성 있는 저온 전기 접속이 가능한 ACF 소재 개발
○ 3~10Mray의 음향 임피던스를 갖는 필름 형태의 초음파 센서의 음향 정합 필름 소재개발 및 음향 모델, 제조 dB 구축
○ NNFC의 8인치 공정을 기반으로 재사용이 가능한 Si carrier 기판상에 PI, PET등 유연 기판을 점착하여 진행하는 금속 배선 공정 개발
○ 자체 개발 초음파 센서를 활용한 혈류 측정 시스템 개발

활용계획 및 기대효과
○ 본 연구는 초음파 센서에 필수적인 저온/고신뢰성 전기 접속 및 음향 정합/흡음용 음향 접착 필름 소재에 관한것으로 개발시 다양한 초음파 센서 개발에 응용이 기대됨
○ 혈류 측정의 경우, 심뇌혈관 질환을 예방하는데 기여할 수 있으며, 해당 질환으로 인한 사회적 비용손실을 절감할 수 있으며 point-of-care 시장의 기여가 기대됨

(출처 : 요약서 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 목차 ... 2
• 최종보고서 ... 3
• 수행결과 요약서 ... 4
• SUMMARY ... 5
• 연 구 분 야 ... 6
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 7
• 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 7
• 2-1. 연구개발 목표 (최종목표) ... 7
• 2-2. 연차별 연구개발 목표 ... 8
• 2-3. 평가의 착안점 ... 9
• 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 10
• 4. 연구수행 내용 및 결과 ... 12
• 4-1. 주관연구개발과제 ... 12
• 4-2. 대표 연구성과 ... 54
• 5. 연구개발목표의 달성도 및 자체평가 ... 56
• 6. 연구성과 ... 59
• 6-1. 연구성과 총괄표 ... 59
• 6-2. 세부 성과별 내용 ... 59
• 7. 연구성과 활용계획 ... 63
• 8. 연구비 집행실적 ... 64
• 8-1. 총연구비 구성(총괄) ... 64
• 8-2. 정부출연금 연차별 연구비 집행실적 ... 64
• 8-3. 참여기업 부담금 연차별 연구비 집행실적 ... 65
• 9. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 66
• 10. 중요 연구변경 사항 ... 66
• 11. 기타 건의사항 ... 66
• 끝페이지 ... 66