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NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노종합기술원 |
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연구책임자 | 나예은 |
참여연구자 | 이호준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-12 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100009480 |
과제고유번호 | 1711125533 |
사업명 | 한국과학기술원부설나노종합기술원지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-28 |
키워드 | 멤스 음향센서.신호대 잡음비.감도. |
연구목표
모바일 및 음성인식 기기의 핵심 기술인 MEMS 음향센서의 신호 대 잡음비(SNR)가 70dB 이상인 양산제품을 개발하여 2023년에 100억 원 이상 매출로 국내시장과 해외시장에 진출 하고자 함.
연구내용
○ 고성능 MEMS 음향센서 양산기술 개발
- 70dB 이상의 High SNR을 갖는 고성능 MEMS 음향센서 설계
- 웨이퍼 Front side 양산화 공정 확립
- 감도와 높은 SNR에 대한 성능의 표준화
○ MEMS 음향센서 Back-side 공정기술 개발
- 벌크
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