초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
신개념 구동 원리를 활용한 고정밀 연성 박막 전도 열유속 센서를 개발하고, 제작공정을 최적화함.

○ 전체 내용
신개념 구동원리를 활용한 고정밀 박막 전도 열유속 센서는 벽면에 부착되어 벽면의 열전달률을 측정하는 소자에 관한 것임. 박막 전도 열유속 센서는 온도측정부 간의 온도차를 이용하여열전달률을 측정하는 것으로서, 본 연구에서는 이러한 원리를 실제로 구현할 수 있는 시제품을 설계 및 제작하고, 센서성능을 최적화 할 수 있는 방안을 도출하는 것이 주요 연구 내용임

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
신개념 구동 원리를 활용한 고정밀 연성 박막 전도 열유속 센서를 개발하고, 제작공정을 최적화함.

○ 전체 내용
신개념 구동원리를 활용한 고정밀 박막 전도 열유속 센서는 벽면에 부착되어 벽면의 열전달률을 측정하는 소자에 관한 것임. 박막 전도 열유속 센서는 온도측정부 간의 온도차를 이용하여열전달률을 측정하는 것으로서, 본 연구에서는 이러한 원리를 실제로 구현할 수 있는 시제품을 설계 및 제작하고, 센서성능을 최적화 할 수 있는 방안을 도출하는 것이 주요 연구 내용임.

□ 연구개발성과
- 1차년도
열유속 센서 관련 기존 기술동향 조사
신개념 박막센서 개념정립 및 상세 설계를 위한 수치계산
열유속 센서 제작을 위한 MEMS 공정설계 및 재료 활용성 검토
- 2차년도
실리콘 웨이퍼 기반 열유속 센서 프로토타입 제작
연성 열유속 센서 (Flexible Heat Flux Sensor) 시제품 제작을 위한 개념설계
연성 열유속 센서 제작방법 고안
- 3차년도
이중층 (Double layer) 구조의 연성 열유속 센서 제작 공정 고안
전도열유속 센서 제작 및 성능평가 결과를 통한 최적화 방안 제안
연성 열유속 센서 제작 노하우와 주의점 도출

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
본 연구를 통해 이형 금속물질을 활용한 고정밀 박막 전도 열유속 센서의 제작개념 도출 및 관련 시제품을 제작함. 특히 이중층 (Double layer) 구조의 연성 열유속 센서 제작 공정 도출 및 시제품 제작에 대한 연구개발 과정을 통해 기존의 범용적인 활용분야 이외에 냉동 공조, 생활 가전을 포함한 다양한 분야의 열전달 구조 모니터링 등이 가능할 것으로 예상함. 다양한 분야에서의 활용 가능성으로 인해 시장전망이 긍정적으로 평가되므로 원천기술 확보 및 앞으로의 시장 확장성에 대비하기 위한 기초 기술개발이 수행되었다고 판단함.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 6
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 17
• 1) 연구수행 결과 ... 17
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 24
• 1) 공학분야 적용예시 ... 24
• 2) 의료분야 적용예시 ... 24
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 25
• 6. 참고문헌 ... 27
• 끝페이지 ... 27